用于將均勻的薄膜涂覆到平坦基板上的模塊。金屬薄膜、聚合物涂層、有機(jī)薄膜等的沉積是通過(guò)在旋轉(zhuǎn)的基板上滴落加熱的溶液來(lái)實(shí)現(xiàn)的。該系統(tǒng)保證了正確的包衣過(guò)程，同時(shí)保持了包衣質(zhì)量和安全性，并在嚴(yán)格控制和無(wú)菌的真空條件下工作，保護(hù)樣品免受外部因素和污染。

兩層旋涂機(jī)腔室配備：

• 2 軸機(jī)械手：
  – R2 轉(zhuǎn)速：2500 RPM
  – 加熱至 950 oC
• 功率為 120 W 的二極管激光加熱
• 滴水 – 帶 1 mm 噴嘴的 Zn 滴管（可加熱至 800 oC）