用于 UHV 環(huán)境中光電子能譜實(shí)驗(yàn)的分析系統(tǒng)，具有可控的樣品溫度。

獨(dú)立系統(tǒng)適用于分析各種納米材料。該系統(tǒng)包括一個(gè)分析室和一個(gè)負(fù)載鎖定室，用于輕松快速地加載基板。泵送系統(tǒng)與分析室的標(biāo)準(zhǔn)容積相結(jié)合，可將極限壓力降至 10^-11mbar，具體取決于泵的配置。