波蘭 PREVAC, 傳輸系統,徑向分配系統,用于在與其相連的多個分析,沉積或制備室之間轉移樣品
徑向分配系統
設計用于在與其相連的多個分析、沉積或制備室之間轉移樣品。
這些腔室通常安裝在一系列腔室的中心,作為集群工具的中央分配樞紐。RDC 腔室的運輸和旋轉機構可將樣品可重復且準確地轉移到其他腔室。徑向分配室機構是線性齒輪齒條運輸車的發展,其中單端齒輪齒條通過精密旋轉驅動器精確旋轉,直到它在徑向端口的預設位置對齊。一旦鎖定到位,相同的旋轉驅動器就會通過端口將機架移出.
波蘭 PREVAC, 傳輸系統,徑向分配系統,用于在與其相連的多個分析,沉積或制備室之間轉移樣品
設計用于在與其相連的多個分析、沉積或制備室之間轉移樣品。
這些腔室通常安裝在一系列腔室的中心,作為集群工具的中央分配樞紐。RDC 腔室的運輸和旋轉機構可將樣品可重復且準確地轉移到其他腔室。徑向分配室機構是線性齒輪齒條運輸車的發展,其中單端齒輪齒條通過精密旋轉驅動器精確旋轉,直到它在徑向端口的預設位置對齊。一旦鎖定到位,相同的旋轉驅動器就會通過端口將機架移出.