波蘭 PREVAC, 傳輸系統(tǒng),線性傳輸,設(shè)計(jì)用于在 UHV 條件下在腔室之間運(yùn)輸樣品架/樣品。
設(shè)計(jì)用于在 UHV 條件下在腔室之間運(yùn)輸樣品架/樣品。
它們通常用于將樣品從負(fù)載鎖室轉(zhuǎn)移到 UHV 系統(tǒng)主室。線性輸送由研究平臺(tái)泵送系統(tǒng)泵送,或者使用專用泵組進(jìn)行泵送。傳輸機(jī)構(gòu)的整個(gè)運(yùn)動(dòng)范圍都是通過旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)饋通實(shí)現(xiàn)的。傳輸運(yùn)動(dòng)的范圍為 450 至 1600 毫米。
有兩種類型的線性傳輸可用:
? 1 軸 – 僅向前移動(dòng),
? 2 軸 – 向前移動(dòng)并圍繞運(yùn)動(dòng)軸連續(xù)旋轉(zhuǎn)。