緊湊、易于使用的提取器類型，用于樣品表面清潔。源產(chǎn)生 >70 μA/cm 的離子電流2（氬氣）具有高斯光束輪廓。源插入長度可根據(jù)個(gè)性化要求進(jìn)行調(diào)整（在 62.5 mm – 384.5 mm 之間，其他可根據(jù)要求提供）。
技術(shù)規(guī)格：
| 安裝法蘭 | DN 40CF（不可旋轉(zhuǎn)） |
| 能量范圍 | 0.12 keV – 5 keV |
| 電流密度 | > 120 μA/cm2（距離 30 mm 時(shí)） |
| 陰極類型 | 氧化釔涂層銥絲 |
| 插入長度 | 最小 62.5 mm，其他根據(jù)要求 外徑：最大 37 mm |
| FWHM | 取決于離子能量和工作距離 （例如，3 mm 對距離 30 mm） |
| 典型工作距離 | 30 – 250 毫米 |
| 烘烤溫度 | 最高 250°C |
| 工作壓力 | 10-5– 10-6毫巴 |
特征：
- 使用惰性（Ar）和反應(yīng)氣體（O2， H2，壽命縮短的碳?xì)浠衔铮?/li>
- 高離子束電流
- 使用壽命長
- 高穩(wěn)定性
選項(xiàng)：
- 氣體計(jì)量系統(tǒng)
- 定制插入長度
- 線性移位
離子源電源IS40-PS
高穩(wěn)定性和低噪音電源，可配置為與IS40C1或IS40E1離子源配合使用。
