波蘭PREVAC Flood source FS 40A1 大束流離子源

 

低成本電子驅源,用于XPS/AESSIMS應用中絕緣體或半導體的電荷中和。大束流源在兩個能量范圍內運行,完全由軟件控制,還可以提供定制的插入長度(145 – 421 mm,其他根據要求)和屏蔽材料,例如 mu-金屬、銅。

數據規格:

安裝法蘭DN 40CF(不可旋轉)
能量范圍0.01 – 1000 eV
采樣電流高達 100 μA
陰極類型釷鎢
屏蔽銅(用于μ金屬腔室)或μ金屬(用于不銹鋼腔室)
插入長度最小 145 毫米(可根據要求提供其他),外徑:33.6 毫米(μ金屬),35 毫米(銅)
FWHM取決于工作距離(例如 10 mm 對距離 30 mm)
典型工作距離20-100 毫米
烘烤溫度最高 250°C
工作壓力< 5 × 10-6毫巴

特征:

  • 高電子束電流
  • 可選能量范圍
  • 穩定排放
  • 光束輪廓控制

選項:

  • 線性移位
  • 定制插入長度
  • 源屏蔽材料(μ金屬或銅)

大束流離子源電源 FS40-PS

帶觸摸屏的新電源專用于大束流離子源 FS40A1。所有可調參數都顯示在帶觸摸屏的大型TFT顯示屏上。所有設置都可以手動調整,也可以在設備打開后自動存儲和調用。該裝置還具有內置定時器和自動待機模式。FS40-PS 可作為全寬 19“ 機架安裝單元(3U 高)或獨立式提供。設備可以通過其中一個可用接口進行遠程控制。該裝置還可以使用模擬接口遠程控制光束能量、發射電流、聚焦和提取器電壓。自動保存功能,用于保存參數/單位預設并在重新啟動后自動應用它們。

技術規格:

電源電壓100 V – 240 V,50/60 Hz
(最大功耗 75 W)
光束能量(低能量
范圍)
0.01 – 50 eV,分辨率 0.01 eV
光束能量(高能量
范圍)
50 – 1000 eV,分辨率 0.1 eV
發射電流1 – 1000 μA,分辨率 0.1 μA
聚焦電壓300 – 1000 V,分辨率 0.1 V
提取器電壓0 – 150 V,分辨率 0.1 V
模擬輸入4 (0-10V)
定時器雙模定時器 0s – 99h 59m
通信接口RS232/485,以太網
通信協議MODBUS-TCP
用戶界面7“ TFT 顯示屏,帶觸摸屏,數字編碼器
界面語言英語, 德語, 波蘭語
尺寸483 x 133 x 435 mm(寬 x 高 x 深),19“ 機架安裝或單獨安裝
重量(大約)5.2 千克

應用:

FS40-PS 電源設計用于 FS40A1 電子大束流離子源,后者用于 XPS/AES 和 SIMS 應用中絕緣體和半導體樣品的電荷中和。

選項:

– 軟件控制(版本專業版、擴展版或庫模塊)。


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