低成本電子驅源,用于XPS/AES和SIMS應用中絕緣體或半導體的電荷中和。大束流源在兩個能量范圍內運行,完全由軟件控制,還可以提供定制的插入長度(145 – 421 mm,其他根據要求)和屏蔽材料,例如 mu-金屬、銅。
數據規格:
安裝法蘭 | DN 40CF(不可旋轉) |
能量范圍 | 0.01 – 1000 eV |
采樣電流 | 高達 100 μA |
陰極類型 | 釷鎢 |
屏蔽 | 銅(用于μ金屬腔室)或μ金屬(用于不銹鋼腔室) |
插入長度 | 最小 145 毫米(可根據要求提供其他),外徑:33.6 毫米(μ金屬),35 毫米(銅) |
FWHM | 取決于工作距離(例如 10 mm 對距離 30 mm) |
典型工作距離 | 20-100 毫米 |
烘烤溫度 | 最高 250°C |
工作壓力 | < 5 × 10-6毫巴 |
特征:
- 高電子束電流
- 可選能量范圍
- 穩定排放
- 光束輪廓控制
選項:
- 線性移位
- 定制插入長度
- 源屏蔽材料(μ金屬或銅)
大束流離子源電源 FS40-PS
帶觸摸屏的新電源專用于大束流離子源 FS40A1。所有可調參數都顯示在帶觸摸屏的大型TFT顯示屏上。所有設置都可以手動調整,也可以在設備打開后自動存儲和調用。該裝置還具有內置定時器和自動待機模式。FS40-PS 可作為全寬 19“ 機架安裝單元(3U 高)或獨立式提供。設備可以通過其中一個可用接口進行遠程控制。該裝置還可以使用模擬接口遠程控制光束能量、發射電流、聚焦和提取器電壓。自動保存功能,用于保存參數/單位預設并在重新啟動后自動應用它們。
技術規格:
電源電壓 | 100 V – 240 V,50/60 Hz (最大功耗 75 W) |
光束能量(低能量 范圍) | 0.01 – 50 eV,分辨率 0.01 eV |
光束能量(高能量 范圍) | 50 – 1000 eV,分辨率 0.1 eV |
發射電流 | 1 – 1000 μA,分辨率 0.1 μA |
聚焦電壓 | 300 – 1000 V,分辨率 0.1 V |
提取器電壓 | 0 – 150 V,分辨率 0.1 V |
模擬輸入 | 4 (0-10V) |
定時器 | 雙模定時器 0s – 99h 59m |
通信接口 | RS232/485,以太網 |
通信協議 | MODBUS-TCP |
用戶界面 | 7“ TFT 顯示屏,帶觸摸屏,數字編碼器 |
界面語言 | 英語, 德語, 波蘭語 |
尺寸 | 483 x 133 x 435 mm(寬 x 高 x 深),19“ 機架安裝或單獨安裝 |
重量(大約) | 5.2 千克 |
應用:
FS40-PS 電源設計用于 FS40A1 電子大束流離子源,后者用于 XPS/AES 和 SIMS 應用中絕緣體和半導體樣品的電荷中和。
選項:
– 軟件控制(版本專業版、擴展版或庫模塊)。