緊湊、易于使用的提取器型離子源，具有束聚焦功能。它主要用于樣品表面清潔，但聚焦功能提供了更多可能性。例如：它允許以相同的樣本距離覆蓋不同的樣本區(qū)域，或者即使在無(wú)法使源更靠近樣本的情況下也可以使用源。該源產(chǎn)生的離子電流大于200μA/cm2（氬氣），具有高斯光束輪廓。離子槍的插入長(zhǎng)度可根據(jù)個(gè)人要求進(jìn)行調(diào)整（143毫米-386毫米之間，其他可根據(jù)要求提供）。

特性：

光束聚焦功能——在30 mm-150 mm之間的所有樣品距離處，光束可能集中到3 mm
較大距離處的遠(yuǎn)光燈強(qiáng)度（由于聚焦功能）
使用惰性氣體（Ar）和反應(yīng)性氣體（O2、H2、壽命縮短的碳?xì)浠衔铮┻M(jìn)行操作
高離子束電流
壽命長(zhǎng)
高穩(wěn)定性

選項(xiàng)

氣體進(jìn)樣系統(tǒng)
定制插入長(zhǎng)度
線性移位

技術(shù)參數(shù)