EF 40C1DF雙燈絲蒸發(fā)源是一個(gè)有兩個(gè)獨(dú)立操作的長燈絲的源，在蒸發(fā)過程中更方便。定制插入長度至少為325毫米（可定制其他長度）。
特性
雙燈絲源操作
操作模式：串行、并行、熱唇、冷唇
極其穩(wěn)定的通量率
各種坩堝材料
高度可重復(fù)性和可靠性
適用于任何MBE系統(tǒng)
無鉬結(jié)構(gòu)（允許高放氣溫度）
整體水冷
C型熱電偶
選項(xiàng)
定制插入長度
有或沒有集成手動(dòng)/電動(dòng)氣動(dòng)快門
線性移位
坩堝
技術(shù)參數(shù)
| Mounting flange | DN 40CF (rotatable) |
| Heater | W wire (tungsten) |
| Temperature range | 250 °C – 1400 °C |
| Temperature stability | ± 0.1°C |
| Crucible type (option) | PBN, Al2O3, Quartz (other materials on request) |
| Crucibles volume | 5cc (other volume on request) |
| Evaporated materials | Group III-V MBE all typical materials (e.g. Ga, In, Al, Si, Be, Cu, Ag, Au, CaF2) |
| Thermocouple type | type C |
| Degassing temp. | 1450 °C |
| Water cooling (required) | water flow: > 0.5 l/min, temperature: 15 – 30 °C, max pressure: 6 bar |
| Insertion length | min. 115 mm (other on request) OD: 35 mm |
| Spot size | Dependent on working distance |
| Working distance | 100 – 150 mm |
| Bakeout temperature | up to?250 °C |
| Working pressure | < 10-5?mbar |
