波蘭 PREVAC Effusion cell EF 40C1 蒸發源EF 40C1

EF 40C1蒸發源(Knudsen池)是一種設計用于間接電阻加熱并提供高度恒定蒸發速率的源。定制插入長度114-380毫米(根據要求提供其他長度)。

特性

極其穩定的通量率
各種坩堝材料
高度可重復性和可靠性
適用于任何MBE系統
無鉬結構(允許高放氣溫度)
整體水冷

選項

定制插入長度
有或沒有集成手動/電動氣動快門
線性移位
坩堝
C或K型熱電偶

技術參數

Mounting flangeDN 40CF (rotatable)
HeaterW wire (tungsten)
Temperature rangeEF 1500 °C? (~250 °C – 1500 °C, 1600 °C for degas)
EF 1200 °C? (~250 °C – 1200 °C)
Temperature stability± 0.1°C
Crucible type (option)PBN, Al2O3, Quartz (other materials on request)
Crucibles volume5cc
Evaporated materialsAll typical materials according to?crucible type
Thermocouple typeEF 1500 °C? – type C (standard)
EF 1200 °C? – type K (option)
Degassing temp.1600 °C
Type of shutterside or flip type, manual or pneumatic
Water cooling (required)water flow: > 0.5 l/min, temperature: 20 – 30 °C, max pressure: 6 bar
Insertion lengthmin. 114mm (other on request) OD: 35 mm
Spot sizeDependent on working distance
Working distance100 – 150 mm
Bakeout temperatureup to?250 °C
Working pressure< 10-5?mbar

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