Quartz Balance QO 40A1 石英天平 QO 40A1在沉積過程中提供涂層厚度的實時、漸進指示,以實現涂層生產的高精度和可重復性。
描述
可以監測蒸發和濺射鍍膜的厚度。傳感器頭是一個水冷的非磁性外殼,永久地放置在真空系統中。晶面與水冷饋通管平行。石英天平QO 40A1安裝在DN 40CF法蘭上,帶有兩根?6管和Microdot S-50同軸連接器。定制插入長度130-500毫米(根據要求提供其他插入長度)。
特性
集水傳感器頭
易于更換的石英
選項
定制插入長度
有或沒有集成手動/電動氣動百葉窗不同的安裝法蘭(例如DN 40 KF)
根據要求提供其他石英天平幾何形狀(例如垂直頭幾何形狀)
線性移位
技術參數
Mounting flange | DN 40CF (rotatable) |
Max. operation temperature | up to?300°C (with water cooling) |
Water cooling (required) | water flow > 0.5 l/min temperature: 20 – 30 °C max pressure: 6 bar |
Crystal frequency | ?4.8 – 6 MHz, 14 mm diameter (industry standard) |
Insertion length | dependent on specification and geometry of the chamber |
Bakeout temperature | up to?150 °C |