用于測量超薄薄膜吸附/解吸的獨立超高壓裝置,能夠在寬溫度范圍內(nèi)進(jìn)行高精度溫度控制。
特性
?基礎(chǔ)壓力1×10-9毫巴
?配備快速PTS樣品架裝載系統(tǒng)的TPD/TDS室
?特殊設(shè)計的錐形取樣端件
?在寬溫度范圍(-170°C至1200°C)內(nèi)進(jìn)行高精度溫度控制
?TDS的計算機控制數(shù)據(jù)采集和處理軟件
?兩個PTS樣品架的裝載鎖室
?從裝載鎖到TPD室的可靠快速線性傳輸系統(tǒng)
選項
?機械手的額外運動軸和完全機動化
?通過精確的PLC壓力控制,可以將壓力范圍從特高壓擴展到1個大氣壓
?氣體加藥系統(tǒng)(手動或精確PLC控制)
?溶劑加藥系統(tǒng)
?專用于在腐蝕性環(huán)境中工作的樣品架
?裝載鎖的加熱和液氮冷卻選項
?樣品制備專用室
?不同質(zhì)量范圍的殘余氣體分析儀