PREVAC ARPES 特高壓系統(tǒng) ARPES UHV system [project 418]

傳輸系統(tǒng)：

Flag Style 樣品架

系統(tǒng)配置：

– 帶有雙層 mu 金屬襯里的分析室，保證剩余磁場(chǎng)低于 0.1 微特斯拉，基本壓力范圍為 5*10?^-11毫巴，包括：

• 具有 LHe 冷卻功能的閉合循環(huán)高分辨率操縱器（樣品溫度低至 15K）——全電動(dòng)
• 針對(duì)極其苛刻的應(yīng)用進(jìn)行了優(yōu)化，高精度 ARPES 電子分析儀
• 具有專用泵送系統(tǒng)的用于 UPS 測(cè)量的單色 UV 源

– 裝載鎖定室允許裝載多達(dá) 12 個(gè) Flag 樣式的樣品架

– 制備室安裝在分析室的頂部，允許對(duì)兩個(gè)室使用一個(gè)機(jī)械手，包括：

• 用于樣品清潔的離子濺射源
• 沉積速率測(cè)量系統(tǒng)：石英平衡和厚度監(jiān)視器
• 金蒸發(fā)器（Efusion cell）
• LEED 帶多通道板，用于 Leed/Auger 測(cè)量

– 存儲(chǔ)室，包括用于 12 旗式樣品架的停放機(jī)制

– 用于轉(zhuǎn)移樣品的徑向分配室 (UFO) 在 UHV 壓力下在室之間轉(zhuǎn)移

– 配件：

• 一套專用、多功能、多材料樣品架
• 所有電子單元的特殊機(jī)架
• 特殊設(shè)計(jì)的烘烤系統(tǒng)