PREVAC 加速器分析特高壓系統(tǒng) Accelerator-analytical UHV system [project 412]

描述

一種分析型 UHV 系統(tǒng)，專門用于研究寬溫度和 UHV 條件下固態(tài)表面的化學(xué)和物理特性。

規(guī)格

在真正的 UHV 條件下，在腔室（分析和負(fù)載鎖定）之間具有線性樣品傳輸?shù)?a href="http://ydzhly.com/prevac/tag/%e5%88%86%e6%9e%90%e7%b3%bb%e7%bb%9f/" title="View all posts in 分析系統(tǒng)" target="_blank">分析系統(tǒng)。分析室中的基礎(chǔ)壓力在 10?^-11毫巴范圍內(nèi)。系統(tǒng)準(zhǔn)備在未來(lái)擴(kuò)展徑向分布室，并有可能添加另一個(gè)處理室，如：準(zhǔn)備室、反應(yīng)器或沉積室。

• 集成不同表面分析方法的球形多技術(shù)分析室。樣品定位是通過(guò)一個(gè)非常穩(wěn)定、高精度的 5 軸機(jī)械手進(jìn)行的，機(jī)械手有兩個(gè)電動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸，用于自動(dòng)角度映射。樣品接收站配備了 LN?₂低溫恒溫器，允許溫度在 -180°C 至 1000°C 范圍內(nèi)變化（取決于樣品架型號(hào)）。該腔室由 mu-metal 制成，并配備了一個(gè)帶有 2D 檢測(cè)器的半球分析儀和一個(gè)帶有基于電子回旋共振的離子源（ECR 離子源）的輕離子加速器系統(tǒng)。
• 結(jié)合渦輪分子泵、離子泵和鈦升華泵的特高壓真空系統(tǒng)。半球分析儀安裝在方位角位置。
• 加載鎖室。