用于將均勻的薄膜涂覆到平坦基板上的模塊。金屬薄膜、聚合物涂層、有機薄膜等的沉積是通過在旋轉的基板上滴落加熱的溶液來實現的。該系統保證了正確的包衣過程，同時保持了包衣質量和安全性，并在嚴格控制和無菌的真空條件下工作，保護樣品免受外部因素和污染。

兩層旋涂機腔室配備：

• 2 軸機械手：
  – R2 轉速：2500 RPM
  – 加熱至 950 oC
• 功率為 120 W 的二極管激光加熱
• 滴水 – 帶 1 mm 噴嘴的 Zn 滴管（可加熱至 800 oC）