PREVAC 電子流槍 FS 40A1 對(duì)絕緣體或半導(dǎo)體進(jìn)行電荷中和

用于在 XPS/AES 和 SIMS 應(yīng)用對(duì)絕緣體或半導(dǎo)體進(jìn)行電荷中和的低成本電子流槍。
泛光源在兩個(gè)能量范圍內(nèi)運(yùn)行,完全由軟件控制,還可以提供定制的插入長(zhǎng)度(145 – 421 毫米,其他應(yīng)要求提供)和屏蔽材料,例如 mu 金屬、銅。

特征

  • 電子束電流
  • 可選擇的能量范圍
  • 穩(wěn)定排放
  • 光束輪廓控制

選項(xiàng)

  • 線性移位
  • 定制插入長(zhǎng)度
  • 源屏蔽材料(μ-金屬或銅)

產(chǎn)品規(guī)格

安裝法蘭DN 40CF(不可旋轉(zhuǎn))
能量范圍0.01 – 500 eV
采樣電流高達(dá) 100 μA
陰極類型釷鎢
Cu或μ金屬
插入長(zhǎng)度分鐘?145 毫米(其他應(yīng)要求提供),外徑:33.6 毫米(微米金屬),35 毫米(銅)
半高寬取決于工作距離(例如,距離 30 mm 為 10 mm)
典型工作距離20-100 毫米
烘烤溫度高達(dá) 250°C
工作壓力< 5 × 10?-6毫巴


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