PREVAC 原子力顯微鏡分析系統(tǒng) UHV-HP AFM System [project 539]

UHV-HP AFM 平臺(tái)是一種獨(dú)特的原子力顯微鏡分析系統(tǒng)，可在寬壓力范圍內(nèi)工作。它專注于高度靈活的樣品環(huán)境，專用于氣固界面的前沿研究。該系統(tǒng)配備了快速進(jìn)入裝載鎖和準(zhǔn)備室。

• AFM 室– 由不銹鋼制成，帶有不同尺寸的連接法蘭，用于當(dāng)前和其他設(shè)備。工作壓力范圍從1 atm 到 UHV（在 150 oC 烘烤后），
• 用于 AFM 模塊的特殊滑軌，以方便對(duì)顯微鏡的維修，
  
• 裝載鎖定室允許裝載和存儲(chǔ)多達(dá) 4 個(gè)旗形樣品架和 4 個(gè)懸臂（尖端），
• 帶有 4 軸機(jī)械手的兩級(jí)制備室（帶有集成的石英天平和高達(dá) 1000 °C 的加熱可能性），
• 配備電子束蒸發(fā)器 EBV?40A1和離子源 IS 40C1 的制備室，用于樣品表面清潔，
• 特殊設(shè)計(jì)的泵送系統(tǒng)– 前真空和渦輪分子泵的隔振，
• 沉積速率測(cè)量系統(tǒng)TMC13和樣品加熱電源HEAT3-PS控制和穩(wěn)定樣品溫度，
• 整個(gè)泵送和加氣系統(tǒng)由PLC控制器控制，
• 用戶友好的線性傳輸系統(tǒng)。