PREVAC 帶有 MBE 室的超分辨率 ARPES 系統 Super resolution ARPES system with MBE chamber [project 523]
用于具有集成 MBE 室的超分辨率 ARPES 測量的多技術光發射 UHV 系統。
系統設置包括：
▪分析室：基礎壓力 10?-11毫巴范圍，
▪ 超高分辨率光電子分析儀，帶廣角接受透鏡。
▪ PREVAC?RMC50單色 X 射線源
▪ 高分辨率和靈敏度 LEED–AES 光譜儀
▪ 5 軸機械手，帶 LHe 冷卻（開放循環）用于分析室
▪?MBE 室：基本壓力范圍 2×10?-10?mbar
▪ 15kV 靜電聚焦 RHEED 電子-來源
▪ 帶有 RES 加熱至 1000 °C 和 LN?2 的4 軸機械手MBE 室的冷卻
▪ 帶負載鎖的傳輸系統和用于 12 旗式樣品架的存儲室
▪ 附加設備：離子源IS 40C1、泛光源FS 40A1、積液池、電子束蒸發器EBV 40A1、石英天平QO 40A1等。
