PREVAC 4-5軸萬能機(jī)械手 4-5 axes Universal Manipulators
X、Y、Z、R1、R2軸電動(dòng)4-5*軸機(jī)械手是一種高精度、高剛性、模塊化結(jié)構(gòu)的UHV試樣機(jī)械手。
模塊化結(jié)構(gòu)意味著可以通過添加或替換明確定義的模塊來升級(jí)或修改規(guī)范。機(jī)械手的所有軸均由步進(jìn)電機(jī)或伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)。X、Y 和 Z 軸也可以根據(jù)需要手動(dòng)操作。標(biāo)準(zhǔn)安裝法蘭為 DN 100CF 或 DN 160CF。4-5軸機(jī)械手是XY平臺(tái)、Z滑動(dòng)和旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的組合。
選項(xiàng)
▪ 全電動(dòng)
▪ 全軟件控制
▪ 溫度穩(wěn)定
▪ 加熱選項(xiàng)??：直接、電阻或 EB
▪ 適用于反應(yīng)氣體的加熱器（電阻加熱）
附加信息
多軸機(jī)械手配置有一個(gè)樣品接收站，可以接收 PTS 系列樣品架之一。該工作站配備 6 個(gè)電觸點(diǎn)（2 個(gè) K、C 或 E 型熱電偶；2 個(gè)高達(dá) 1000V 的樣品偏置，2 個(gè)高達(dá) 20A 的加熱電流）和用于液氮冷卻的藍(lán)寶石球冷卻觸點(diǎn)。機(jī)械手包括所有必要的電氣、氣體和機(jī)械饋通以及用于 XY、Z、R1 和 R2 軸的步進(jìn)電機(jī)和步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器。
* 可應(yīng)要求為 PTS 樣品架配備 6 軸機(jī)械手。
技術(shù)數(shù)據(jù)
| 標(biāo)準(zhǔn)底座法蘭 | DN 100CF 或 DN 160CF |
| 壓力范圍 | 低至 10?-11毫巴 |
| 加熱方式 | 電阻，EB，直接 |
| 冷卻方式 | LN?2 |
| XY范圍 | ± 12.5 毫米 |
| ?? 位置控制 | 千分尺/機(jī)動(dòng)* |
| ?? 分辨率（手動(dòng)/機(jī)動(dòng)） | 5微米/1微米 |
| Z范圍 | 75 – 800 毫米（其他應(yīng)要求提供） |
| ?? 位置控制 | 手輪/電動(dòng)* |
| ?? 分辨率（手動(dòng)/機(jī)動(dòng)） | 500 μm / 標(biāo)準(zhǔn) 10 μm （1 μm 根據(jù)要求） |
| R1范圍 | ± 175° |
| ?? 位置控制 | 旋轉(zhuǎn)饋通/機(jī)動(dòng)* |
| ?? 分辨率（機(jī)動(dòng)） | 0.1° |
| R2范圍 | 360°連續(xù)/±90° |
| ?? 位置控制 | 機(jī)動(dòng)的 |
| ?? 分辨率（機(jī)動(dòng)） | 0.1° |
| 烘烤溫度 | 高達(dá) 150 °C |
* 步進(jìn)電機(jī)或伺服電機(jī) – 取決于應(yīng)用。
可根據(jù)要求為客戶電機(jī)或驅(qū)動(dòng)器準(zhǔn)備機(jī)械手。
