PREVAC TPD/TDS系統(tǒng) TPD/TDS system

用于測量超薄膜吸附/解吸的獨立系統(tǒng)，能夠在很寬的溫度范圍內(nèi)進行高精度溫度控制。

• 一級TPD/TDS 室，基礎(chǔ)壓力為 1×10?^-9?mbar（備用端口可用于其他組件）
• 配備四極桿TDS 40A1 熱解吸光譜儀（質(zhì)量范圍高達 200 AMU），Z 軸位移可實現(xiàn)最佳檢測器定位
• 特殊設(shè)計的錐形取樣端件
• 1 軸 UHV 機械手，在較寬的溫度范圍內(nèi)（-170 °C 至 1200 °C）具有高精度溫度控制
• TDS計算機控制的數(shù)據(jù)采集和處理軟件
• 兩個 PTS 樣品架的負載鎖定室
• 從負載鎖到 TPD 室的可靠且快速的線性傳輸系統(tǒng)
• 19“機柜，適用于所有電子單元
• 帶大輪子的可調(diào)節(jié)剛性主框架，便于系統(tǒng)放置

許多可用的升級選項，例如：

• 機械手的附加運動軸和完全電動化
• 通過對壓力進行精確的 PLC 控制，可以將壓力范圍從 UHV 擴展到 1 個大氣壓
• 氣體計量系統(tǒng)（手動或精確的 PLC 控制）
• 溶劑加藥系統(tǒng)
• 專用于腐蝕性環(huán)境的樣品架
• 裝載鎖的加熱和 LN?₂冷卻選項
• 用于樣品制備的專用室
• 用于不同質(zhì)量范圍的殘余氣體分析儀

應(yīng)用：

• 表面科學(xué)
• 納米粒子
• 薄膜
• 半導(dǎo)體
• 光伏
• 材料表征