PREVAC XPS UPS 光電子能譜儀 XPS UPS Photoelectron Spectrometer [project 454]

UHV ESCA 系統(tǒng)專(zhuān)門(mén)用于在控制良好的條件下通過(guò)不同方法研究寬溫度和壓力范圍內(nèi)固態(tài)表面的化學(xué)和物理特性。

規(guī)格

該系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于在控制良好的條件下通過(guò) XPS/UPS 方法調(diào)查和修改固體表面。分析室中的基礎(chǔ)壓力< 5*10?^-11?mbar。

• 多功能分析室集成了標(biāo)準(zhǔn)ESCA、AES、ISS和UPS等不同的測(cè)量方法。高精度的 5 軸機(jī)械手確保樣品的良好定位，它配備有用于 LN?_{2 的}低溫恒溫器和用于在很寬的溫度范圍內(nèi)冷卻和加熱樣品的加熱器。腔室由μ金屬制成，配備有半球形分析儀和分析設(shè)備，如離子源、電子源、泛光槍、單色X射線源、無(wú)單色X射線源、紫外線源，并為許多其他準(zhǔn)備?？筛鶕?jù)客戶(hù)要求對(duì)設(shè)備進(jìn)行改造。
• 兩級(jí)制備室，配備LEED、TDS、離子源、電子束蒸發(fā)器、機(jī)械表面清潔器，以及許多可用于未來(lái)制備或蒸發(fā)裝置的端口。樣品上的溫度取決于樣品架，可以在 -180°C 到 2000°C 之間變化。
• 分配室，用于將樣品架轉(zhuǎn)移到連接在其圓周上的特定室。
• 切割器室用于切割安裝在合適的樣品架上的樣品。
• 高壓室用于加熱至 650°C 并將樣品在受控氣體氣氛中在壓力下冷卻至 2 MPa
• 負(fù)載鎖定室為粉塵樣品泵送準(zhǔn)備，帶有內(nèi)部烘烤系統(tǒng)。
• 用于 6 個(gè)樣品架的樣品停放室。