PREVAC 真空1-3軸機械手 1-3 axes Manipulators

根據客戶精準的個性化需求，我們可以設計和提供各種定制的特高壓機械手。

機械手可以在三個正交軸 XYZ 中的任何一個軸上移動樣品。使用附加旋轉裝置可以實現圍繞這些軸（R1、R2、R3）的附加旋轉運動。為了實現最高的定位精度、分辨率和可重復性，XYZ 機械手和旋轉驅動器的運動可以是電動的。機械手可以在任何方向工作。

加熱和冷卻選項

PTS 和旗幟樣式的樣品架系列與每個機械手上的接收站對接。根據要求，樣品可以通過電阻或電子束或直流電加熱。它們使用安裝在機械手上的低溫恒溫器進行冷卻，液氮 (LN2) 或液氦 (LHe) 流過低溫恒溫器。