MS2 63C1 磁控管源用于在濺射過程中應用高度均勻的薄層。
源與特高壓條件兼容。由于集成了原位傾斜系統，它可以用于標準和定制幾何室。通過使用圓頂型設計，我們最大限度地減少了打開百葉窗所需的空間。MS2 63C1 與我們的 M600DC-PS 電源以及市場上所有其他直流、射頻和脈沖直流電源完全兼容。
特征
- 安裝法蘭：DN 63 CF
- 原位傾斜范圍：+45°÷-10°
- 煙囪為標準
- 氣動圓頂式百葉窗
目標： - 直徑：2″
- 厚度| 非磁性：1-6 毫米
- 厚度| 磁性：Fe 1 mm、Co 2-3 mm、Ni 2 mm
- 間接冷卻
選項
- 質量流量控制器 (MKS MF1)
- Z 機械手
產品規格
| 安裝法蘭 | DN 63 CF * |
| 最大限度。電源（直流模式） | 400 瓦直流** |
| 最大限度。功率（射頻模式） | 400 瓦射頻 ** |
| 最大限度。電壓直流 | 1200伏 |
| 連接器 DC/RF | 7/16 型 |
| 目標 形狀 直徑 厚度 冷卻 | 圓形 2″ (50.8 mm) ± 0.2 mm 1 – 6 mm 間接 |
| 水流 | 分鐘?1升/分鐘 |
| 最大限度。進水溫度 | ?< 28°C |
| 最大限度。水壓力 | 3 巴 |
| 管徑 | ?6×1 mm 聚四氟乙烯 |
| 磁鐵材料 | 釹鐵硼 (NdFeB) |
| 磁鐵最大值?溫度 | 200℃ |
| 內部氣動百葉窗 | 是 – 圓頂型百葉窗 |
| 原位傾斜模塊 | 是的，范圍 +45° ÷ -10° |
| 煙囪 | 是的 |
| 典型速率 Cu, 140 mm 距離 Ti, 140 mm 距離 | 45 納米/分鐘 @ 300 瓦 30 納米/分鐘 @ 300 瓦 |
| ?內部進氣口 | 是（VCR 標準） |
| 工作氣體 | 氬氣 |
| 最大限度。工作壓力 | 5×10?-3?– 1×10?-1毫巴 |
| 最佳工作壓力 | 5×10?-3?– 5×10?-2毫巴 |
* 可應要求提供其他安裝法蘭（DN 100 CF、DN 160 CF）。
** 最大功率由目標材料決定。
