IS 40E1 離子源是一個雙透鏡提取器型聚焦差分泵浦離子槍。
源能夠以推薦的工作距離對 10 mm x 10 mm 的表面區域進行光柵化。它特別適用于 XPS、ISS 和 SIMS 中的深度剖析。該離子源還可用于樣品表面清潔。
特征
- 特殊配置的鼻錐
- 使用惰性 (Ar) 和反應性氣體（O 2、H 2、壽命縮短的碳氫化合物）操作
- 連續可變的光斑尺寸
- 極其均勻的隕石坑/光束輪廓
- 內部可更換燈絲
- 特高壓氣體入口
- 室內保持 UHV 條件
- 集成掃描和偏轉單元
- 入射電子束角度校正（IS40-PS電源提供）
選項
- 維恩質量過濾器
- 氣體加藥系統
- 線性位移：25、50、75、100 毫米
- 差動泵送（2 級）
技術規格
| 安裝法蘭 | DN 40CF（可旋轉） |
| 氣體 | Ar 和反應性氣體（壽命縮短的O?2、H?2碳氫化合物） |
| 能量范圍 | 0.15 keV – 5 keV |
| 掃描區域 | 10 毫米 x 10 毫米（工作距離為 23 毫米） |
| 當前密度 | 高達 4 mA / cm?2（距離 23 mm） |
| 束流 | > 1 μA（距離 23 mm） |
| 陰極類型 | 氧化釔涂層銥絲 |
| 小錐角 | 50° |
| 插入長度 | 163 毫米（標準） |
| 半高寬 | 取決于工作距離 （例如 < 150 μm 距離 23 mm） |
| 典型工作距離 | 23 – 120 毫米 |
| 烘烤溫度 | 250℃ |
| 工作壓力 | 10?-8?mbar（最大束流） |
