IS 40E1 離子源是一個雙透鏡提取器型聚焦差分泵離子槍。
源能夠以推薦的工作距離對 10 mm x 10 mm 的表面區域進行光柵化。它特別適用于 XPS、ISS 和 SIMS 中的深度剖析。該離子源還可用于樣品表面清潔。
特征
- 特殊配置的鼻錐
- 使用惰性 (Ar) 和反應性氣體(O?2、H?2、壽命縮短的碳氫化合物)操作
- 連續可變的光斑尺寸
- 極其均勻的隕石坑/光束輪廓
- 內部可更換燈絲
- 特高壓氣體入口
- 室內保持 UHV 條件
- 集成掃描和偏轉單元
- 入射電子束角度校正(IS40-PS電源提供)
選項
- 維恩質量過濾器
- 氣體進樣系統
- 線性位移:25、50、75、100 毫米
- 差動泵送(2 級)
技術數據
安裝法蘭 | DN 40CF(可旋轉) |
氣體 | Ar 和反應性氣體(壽命縮短的O?2、H?2碳氫化合物) |
能量范圍 | 0.15 keV – 5 keV |
掃描區域 | 10 毫米 x 10 毫米(工作距離為 23 毫米) |
當前密度 | 高達 4 mA / cm?2(距離 23 mm) |
束流 | > 1 μA(距離 23 mm) |
陰極類型 | 氧化釔涂層銥絲 |
小錐角 | 50° |
插入長度 | 163 毫米(標準) |
半高寬 | 取決于工作距離 (例如 < 150 μm 距離 23 mm) |
典型工作距離 | 23 – 120 毫米 |
烘烤溫度 | 250℃ |
工作壓力 | 10?-8?mbar(最大束流) |