IS 40E1 離子源是一個(gè)雙透鏡提取器型聚焦差分泵離子槍。
源能夠以推薦的工作距離對 10 mm x 10 mm 的表面區(qū)域進(jìn)行光柵化。它特別適用于 XPS、ISS 和 SIMS 中的深度剖析。該離子源還可用于樣品表面清潔。
特征
- 特殊配置的鼻錐
- 使用惰性 (Ar) 和反應(yīng)性氣體（O?2、H?2、壽命縮短的碳?xì)浠衔铮┎僮?/li>
- 連續(xù)可變的光斑尺寸
- 極其均勻的隕石坑/光束輪廓
- 內(nèi)部可更換燈絲
- 特高壓氣體入口
- 室內(nèi)保持 UHV 條件
- 集成掃描和偏轉(zhuǎn)單元
- 入射電子束角度校正（IS40-PS電源提供）
選項(xiàng)
- 維恩質(zhì)量過濾器
- 氣體進(jìn)樣系統(tǒng)
- 線性位移：25、50、75、100 毫米
- 差動(dòng)泵送（2 級(jí)）
技術(shù)數(shù)據(jù)
| 安裝法蘭 | DN 40CF（可旋轉(zhuǎn)） |
| 氣體 | Ar 和反應(yīng)性氣體（壽命縮短的O?2、H?2碳?xì)浠衔铮?/td> |
| 能量范圍 | 0.15 keV – 5 keV |
| 掃描區(qū)域 | 10 毫米 x 10 毫米（工作距離為 23 毫米） |
| 當(dāng)前密度 | 高達(dá) 4 mA / cm?2（距離 23 mm） |
| 束流 | > 1 μA（距離 23 mm） |
| 陰極類型 | 氧化釔涂層銥絲 |
| 小錐角 | 50° |
| 插入長度 | 163 毫米（標(biāo)準(zhǔn)） |
| 半高寬 | 取決于工作距離 （例如 < 150 μm 距離 23 mm） |
| 典型工作距離 | 23 – 120 毫米 |
| 烘烤溫度 | 250℃ |
| 工作壓力 | 10?-8?mbar（最大束流） |
