PREVAC 4-6 真空系統(tǒng) 真空軸氦氣機(jī)械手（閉環(huán)）4-6 axes Helium Manipulators (Closed Cycle)

PREVAC 4-6 軸氦氣機(jī)械手（閉環(huán)）4-6 axes Helium Manipulators (Closed Cycle)

帶有氦低溫恒溫器的機(jī)械手是一種多功能的閉式循環(huán)系統(tǒng)，在超高真空研究中有許多應(yīng)用。

機(jī)械手可以配置 Z 滑塊、XY 平臺(tái)或差動(dòng)泵送旋轉(zhuǎn)饋通。模塊化結(jié)構(gòu)意味著可以通過添加或替換明確定義的模塊來升級(jí)或修改規(guī)范。標(biāo)準(zhǔn)安裝法蘭為 DN 100CF。該系統(tǒng)通常包括壓縮機(jī)、高壓軟管、膨脹機(jī)、溫度控制器、加熱器和傳感器。

選項(xiàng)

▪ 全電動(dòng)
▪ 全軟件控制
▪ 氦氣回收系統(tǒng)
▪ 可以安裝角度裝置進(jìn)行 PES 校準(zhǔn)
▪ 用于硅樣品直接加熱的附加電觸點(diǎn)
▪ 低振動(dòng)低溫恒溫器
▪ 溫度穩(wěn)定
▪ 加熱選項(xiàng)??：直接、電阻或 EB

加熱和冷卻方法

樣品溫度取決于樣品架類型：
▪ EB 加熱 –高達(dá) 1000 °C（第二階段）
▪ 直接加熱10 A
▪ 電阻加熱（應(yīng)要求）
▪ 液氦冷卻：
–低于 10 K?* (5 -axes 機(jī)械手)
* 無需穩(wěn)定和加熱選項(xiàng)即可實(shí)現(xiàn)參數(shù)。

技術(shù)數(shù)據(jù)

標(biāo)準(zhǔn)底座法蘭DN 100CF 或 DN 160CF
壓力范圍1 巴至 10?-11毫巴
加熱方式電阻，EB，直接
冷卻方式氦氣
XY范圍± 12.5 毫米*
?? 位置控制千分尺/機(jī)動(dòng)**
?? 分辨率（手動(dòng)/機(jī)動(dòng)）5微米/1微米
Z范圍高達(dá) 300 毫米
?? 位置控制手輪/電動(dòng)**
?? 分辨率（手動(dòng)/機(jī)動(dòng)）50 μm / 標(biāo)準(zhǔn) 10 μm
（1 μm 根據(jù)要求）
R1范圍± 180°
?? 位置控制旋轉(zhuǎn)饋通/機(jī)動(dòng)**
?? 分辨率（機(jī)動(dòng)）0.1°
R2范圍360°連續(xù)
?? 位置控制機(jī)動(dòng)**
?? 分辨率（機(jī)動(dòng)）0.1°
R3范圍– 20° 至 +40°
?? 位置控制旋轉(zhuǎn)饋通/機(jī)動(dòng)**
?? 分辨率（機(jī)動(dòng)）0.1°
烘烤溫度高達(dá) 150 °C

* 用于底座法蘭 DN 160CF
** 步進(jìn)電機(jī)或伺服電機(jī) – 取決于應(yīng)用。
可根據(jù)要求為客戶電機(jī)或驅(qū)動(dòng)器準(zhǔn)備機(jī)械手。


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