PREVAC 4-6 軸氦氣機械手（閉環）4-6 axes Helium Manipulators (Closed Cycle)

帶有氦低溫恒溫器的機械手是一種多功能的閉式循環系統，在超高真空研究中有許多應用。

機械手可以配置 Z 滑塊、XY 平臺或差動泵送旋轉饋通。模塊化結構意味著可以通過添加或替換明確定義的模塊來升級或修改規范。標準安裝法蘭為 DN 100CF。該系統通常包括壓縮機、高壓軟管、膨脹機、溫度控制器、加熱器和傳感器。

選項

▪ 全電動
▪ 全軟件控制
▪ 氦氣回收系統
▪ 可以安裝角度裝置進行 PES 校準
▪ 用于硅樣品直接加熱的附加電觸點
▪ 低振動低溫恒溫器
▪ 溫度穩定
▪ 加熱選項??：直接、電阻或 EB

加熱和冷卻方法

樣品溫度取決于樣品架類型：
▪ EB 加熱 –高達 1000 °C（第二階段）
▪ 直接加熱10 A
▪ 電阻加熱（應要求）
▪ 液氦冷卻：
? –低于 10 K?* (5 -axes 機械手)
* 無需穩定和加熱選項即可實現參數。

技術數據

* 用于底座法蘭 DN 160CF
** 步進電機或伺服電機 – 取決于應用。
可根據要求為客戶電機或驅動器準備機械手。