PREVAC 5mbar XPS/UPS system XPS（ESCA）/ UPS 5 mbar-10 -10 mbar 真空表面分析系統

專門用于XPS（ESCA）/ UPS實驗的系統，壓力范圍為5 mbar-10?^-10?mbar，樣品溫度可控。設備提供完整的PLC保護和軟件控制，包括對機器狀態的清晰可視化，數據采集，對所有集成設備，電源和輔助設備的控制。

• 分析室-由μ金屬制成，帶有用于電流和其他設備的連接法蘭。基本壓力范圍10?^-10?mbar（在120oC烘烤后），
• EA15-HP5半球能量分析儀（XPS / UPS）-配備了11個狹縫，可以在最佳能量分辨率和最佳強度之間進行選擇。平均半徑：150毫米。
• X射線源RS 40B1?（HP版）-高強度雙陽極X射線源，
• 帶有帶有電子裝置的單色儀RMC50（HP版）的X射線源（發射控制器，冷卻箱和用于操作RMC50和RS40B1 X射線源的HV電源），
• 紫外線源UVS 40A2，
• RUDI-EA2-高穩定度和低噪音的電子產品，
• SPECTRIUM-在處理和直觀的圖形界面方面的先進且經過優化的軟件工具，
• 用于PTS樣品架的4軸全電動UHV機械手（帶有加熱和LN?₂冷卻），
• 分析室，高壓分析儀和分析組件的泵送系統，
• 分析室的氣體定量給料系統。