PREVAC TPD/TDS system 超薄膜吸附/解吸測(cè)量系統(tǒng)

于測(cè)量超薄膜吸附/解吸的獨(dú)立系統(tǒng)，能夠在寬溫度范圍內(nèi)進(jìn)行高精度溫度控制。

• 一級(jí)TPD / TDS腔室，基本壓力為1×10?^-9?mbar（備用端口可用于其他組件）
• 配備四極TDS 40A1熱解吸光譜儀（質(zhì)量范圍高達(dá)200 AMU），Z軸偏移，可實(shí)現(xiàn)最佳檢測(cè)器定位
• 特殊設(shè)計(jì)的錐形采樣端頭
• 具有寬溫度范圍（-170°C至1200°C）的高精度溫度控制的1軸UHV機(jī)械手
• TDS的計(jì)算機(jī)控制數(shù)據(jù)采集和處理軟件
• 負(fù)載鎖定室，用于兩個(gè)PTS樣品架
• 從負(fù)載鎖定到TPD腔室的可靠，快速的線性傳輸系統(tǒng)
• 適用于所有電子設(shè)備的19英寸機(jī)柜
• 可調(diào)式剛性主框架，帶大輪子，易于放置系統(tǒng)

提供許多升級(jí)選項(xiàng)，例如：

• 機(jī)械手的附加運(yùn)動(dòng)軸和完全電動(dòng)化
• 通過(guò)精確的PLC控制壓力，可以將壓力范圍從特高壓擴(kuò)展到1個(gè)大氣壓
• 氣體加料系統(tǒng)（手動(dòng)或精確，由PLC控制）
• 溶劑加藥系統(tǒng)
• 專(zhuān)門(mén)用于腐蝕性環(huán)境的樣品架
• 負(fù)載鎖定的加熱和LN?₂冷卻選項(xiàng)
• 專(zhuān)門(mén)用于樣品制備的腔室
• 適用于不同質(zhì)量范圍的殘留氣體分析儀

應(yīng)用范圍：

• 表面科學(xué)
• 納米粒子
• 薄膜
• 半導(dǎo)體類(lèi)
• 光伏發(fā)電
• 材料表征