PREVAC的表面分析系統(tǒng)產(chǎn)品線基于高度靈活的分析工具，該工具針對XPS（ESCA），UPS，ARPES，ISS和AES測量進(jìn)行了優(yōu)化。半球分析儀的能量分辨率小于3 meV（通過能量為2 eV時的FWHM）。除了光譜儀外，還提供了通用控制軟件，該軟件以開放標(biāo)準(zhǔn)格式（JSON）存儲數(shù)據(jù)，并允許將數(shù)據(jù)導(dǎo)出為其他各種格式（hdf5，ini，txt），供不同的獨立XPS評估程序使用。
- 分析室-由μ金屬制成，帶有用于電流和其他設(shè)備的連接法蘭。基本壓力范圍10?-10?mbar（在150oC烘烤后），
- EA15半球形能量分析儀-配備了11個狹縫，可以在最佳能量分辨率和最佳強(qiáng)度之間進(jìn)行選擇。平均半徑：150毫米。動能范圍：0.5-3000 eV，
- X射線源RS 40B1?–高強(qiáng)度雙陽極型X射線源，
- 帶有帶有電子裝置的單色儀RMC50的X射線源（發(fā)射控制器，冷卻箱和用于操作RMC50和RS40B1 X射線源的HV電源），
- 紫外線源UVS 40A2，
- 離子源IS 40E1
- 洪水源FS 40A1
- RUDI-EA2-高穩(wěn)定度和低噪音的電子產(chǎn)品，
- SPECTRIUM-在處理和直觀的圖形界面方面的先進(jìn)且經(jīng)過優(yōu)化的軟件工具，
- 可靠的4-5-6軸全電動UHV機(jī)械手（帶有加熱和冷卻），
- 用于分析室和分析部件的泵送系統(tǒng)，
- 分析室的氣體定量給料系統(tǒng)。
