丹麥SENS4? VPM-7 SmartPirani™ ATM系列真空傳感器、VPM-7-10101232、VPM-7-10201232、VPM-7-1010213、VPM-7-40102132、真空傳感器、SENS4真空傳感器、進(jìn)口代理SENS4

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丹麥SENS4? VPM-7 SmartPirani™ ATM 系列真空傳感器

VPM-7 SmartPirani™ ATM?Transducer

VPM-7 smart pirani ATM該傳感器設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體負(fù)載鎖定精密壓力控制和其他真空應(yīng)用，在這些應(yīng)用中，相對(duì)于大氣環(huán)境壓力的精確壓力測(cè)量非常重要。

它提供了同類最佳的性能，測(cè)量范圍更廣，精度更高，測(cè)量周期比傳統(tǒng)產(chǎn)品更快裝載鎖傳感器和其他負(fù)載鎖定傳感器解決方案。

SmartPirani™ATM通過將熱導(dǎo)皮拉尼熱損失真空計(jì)的可用測(cè)量范圍延長(zhǎng)1-30年，建立了新的標(biāo)準(zhǔn)。

丹麥SENS4? VPM-7 SmartPirani™ ATM 系列真空傳感器訂貨號(hào)：

DN16KF法蘭系列

VPM-7-10101232?

  • DN16KF法蘭
  • 標(biāo)準(zhǔn)傳感器
  • RS-232接口
  • Std。模擬輸出
  • 毫巴(millibar壓力單位)
  • 3個(gè)設(shè)定點(diǎn)繼電器
  • 15針。高清D-sub

VPM-7-10201232

  • DN16KF法蘭
  • 標(biāo)準(zhǔn)傳感器
  • RS-485接口
  • Std。模擬輸出
  • 毫巴(millibar壓力單位)
  • 3個(gè)設(shè)定點(diǎn)繼電器
  • 15針。高清D-sub

VPM-7-10102132

  • DN16KF法蘭
  • 標(biāo)準(zhǔn)傳感器
  • RS-232接口
  • Std。模擬輸出
  • 托
  • 3個(gè)設(shè)定點(diǎn)繼電器
  • 15針。高清D-sub

VPM-7-10202132

  • DN16KF法蘭
  • 標(biāo)準(zhǔn)傳感器
  • RS-485接口
  • Std。模擬輸出
  • 托
  • 3個(gè)設(shè)定點(diǎn)繼電器
  • 15針。高清D-sub

VCR4F法蘭法蘭系列

VPM-7-40101232?

  • VCR4F法蘭
  • 標(biāo)準(zhǔn)傳感器
  • RS-232接口
  • 毫巴(millibar壓力單位)
  • Std。模擬輸出
  • 3個(gè)設(shè)定點(diǎn)繼電器
  • 15針。高清D-sub

VPM-7-40101232

  • VCR4F法蘭
  • 標(biāo)準(zhǔn)傳感器
  • RS-485接口
  • 毫巴(millibar壓力單位)
  • Std。模擬輸出
  • 3個(gè)設(shè)定點(diǎn)繼電器
  • 15針。高清D-sub

VPM-7-40102132

  • VCR4F法蘭
  • 標(biāo)準(zhǔn)傳感器
  • RS-232接口
  • 托
  • MKS 900模擬輸出
  • 3個(gè)設(shè)定點(diǎn)繼電器
  • 15針。高清D-sub

VPM-7-40202132

  • VCR4F法蘭
  • 標(biāo)準(zhǔn)傳感器
  • RS-485接口
  • 托
  • MKS 900模擬輸出
  • 3個(gè)設(shè)定點(diǎn)繼電器
  • 15針。高清D-sub
VPM-7 range

裝載鎖是一種真空室，用于將器件如半導(dǎo)體晶片從環(huán)境氣壓裝載到真空處理室中。裝載鎖通常在大氣壓和將晶片轉(zhuǎn)移到處理室所需的適當(dāng)真空水平之間循環(huán)。負(fù)載鎖定裝置內(nèi)的精確壓力控制對(duì)于防止環(huán)境空氣和微粒污染、保護(hù)腔室和晶片至關(guān)重要。

測(cè)量和控制負(fù)載鎖定過程

VPM-7 SmartPirani ATM專為測(cè)量和控制真空氣體壓力而設(shè)計(jì)。多個(gè)輸出選項(xiàng)不僅僅提供壓力測(cè)量信號(hào)。

可靠的設(shè)定點(diǎn)繼電器控制

三個(gè)獨(dú)立的固態(tài)開關(guān)繼電器允許負(fù)載鎖定壓力循環(huán)的外部控制，包括泵、閥門、安全聯(lián)鎖電路、PLC和其他設(shè)備。 與機(jī)電繼電器不同，固態(tài)繼電器具有更高的可靠性和更快的切換時(shí)間，無電弧接觸，在切換過程中不會(huì)產(chǎn)生EMI(電磁干擾)。 SmartPirani ATM繼電器經(jīng)久耐用，通過UL認(rèn)證、CSA認(rèn)證和EN/IEC 60950-1認(rèn)證，確保在關(guān)鍵真空過程和高循環(huán)應(yīng)用中的可靠性能。

模擬輸出

模擬輸出電壓為外部監(jiān)測(cè)或控制提供信號(hào)。VPM-7為毫巴、托或帕斯卡提供每十倍頻程1 VDC的標(biāo)準(zhǔn)電壓輸出。 此外，它可以由用戶配置或預(yù)配置各種其他模擬輸出選項(xiàng)，允許無縫替換其他制造商的壓力表。

VPM-5 Analog Output

數(shù)字接口

RS-232和RS-485串行接口便于將壓力和溫度測(cè)量數(shù)據(jù)傳輸?shù)酵獠吭O(shè)備。

該數(shù)字接口支持診斷、預(yù)測(cè)性維護(hù)、維修、校準(zhǔn)、設(shè)定點(diǎn)配置、模擬輸出縮放，以及用于屏幕可視化的真空壓力測(cè)量的實(shí)時(shí)采集。

耐腐蝕傳感器

通常，裝載鎖裝置是干凈的，沒有腐蝕性氣體。然而，可選的耐腐蝕傳感器使VPM-7 SmartPirani ATM能夠在存在腐蝕性化學(xué)物質(zhì)或殘留蝕刻氣體的應(yīng)用中使用。

陶瓷是一種高度耐腐蝕的材料，通常用于電容式隔膜真空計(jì)中的真空傳感器隔膜。

聚對(duì)二甲苯是一種獨(dú)特的聚合物，以其強(qiáng)耐腐蝕性和疏水性而聞名。

其他供應(yīng)商插件兼容性?

VPM-7 SmartPirani ATM傳感器可作為傳統(tǒng)真空傳感器的替代產(chǎn)品。

引腳兼容性、模擬電壓壓力信號(hào)仿真以及與其他供應(yīng)商的真空傳感器和變送器的數(shù)字協(xié)議仿真。

這些仿真功能可以快速、無縫地升級(jí)傳統(tǒng)的wire Pirani傳感器、對(duì)流規(guī)和傳統(tǒng)的micro-Pirani傳感器，允許在不改變布線和系統(tǒng)設(shè)備軟件的情況下過渡到下一代真空傳感器。

VPM-7 SmartPirani ATM將在許多應(yīng)用中取代傳統(tǒng)的真空規(guī)和傳感器，從而降低成本并提高測(cè)量性能。

自定義設(shè)置

VPM-7 SmartPirani ATM傳感器可以定制，以滿足特定的應(yīng)用要求，使其可以立即用于特定的設(shè)備設(shè)置。預(yù)配置選項(xiàng)包括測(cè)量范圍、真空壓力單位、設(shè)定點(diǎn)配置和輸出信號(hào)縮放。

定制單元被分配一個(gè)唯一的零件號(hào)，以便將來重新訂購。

丹麥SENS4? VPM-7 SmartPirani™ ATM 系列真空傳感器應(yīng)用與市場(chǎng)：

VPM-7 SmartPirani ATM專為先進(jìn)真空過程的可靠測(cè)量和控制而設(shè)計(jì)，適用于負(fù)載鎖定系統(tǒng)的壓力控制。有多種VPM-7配置可供選擇，以滿足不同行業(yè)和應(yīng)用的不同要求。


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