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SENS4 A/S? VPM-15 TriCAP™ 多傳感器真空計
VPM-15 TriCAP™ Vacuum Transducer
VPM-15 TriCAP傳感器為各種真空應用建立了一體化寬量程測量解決方案的新標準。它從其他真空計中脫穎而出，提供了從5.0E-3到1333 mbar的具有成本效益的、與氣體無關的測量，結合了使用熱損失原理的低至1E-6 mbar的測量。
在氣體成分或類型可能改變的真空應用中，傳統的依賴氣體的皮拉尼壓力計可能導致測量值與實際壓力的偏差。TriCAP傳感器采用精密電容膜片規(CDG)傳感器，消除了氣體依賴性，即使氣體性質發生變化，也能提供精確的測量。
反思真空測量
VPM-15 TriCAP是一款創新的多傳感器真空計，是提升傳統皮拉尼真空計應用性能的理想選擇，也是使用獨立電容壓力計和皮拉尼真空計應用的成本優化一體化解決方案。
CDG自動調零
集成的熱損耗MEMS Pirani傳感器將測量范圍擴展到1E-6 mbar，并為電容壓力計提供創新的自動調零功能，消除了傳統電容膜片規中常見的手動調零需求。無需手動按鈕調零——只需將泵壓至自動調零點，自動CDG就會自動調整并隨時可用。
支持在要求苛刻的應用中使用
對于傳感器可能遇到腐蝕性或侵蝕性氣體的應用，TriCAP提供保形保護涂層，作為有效的屏障。
TriCAP傳感器系列提供可選的陶瓷或聚對二甲苯保護層，防止傳感器材料腐蝕或氧化。陶瓷具有很強的抗腐蝕性，是電容式隔膜真空計中真空傳感器隔膜的可靠材料。聚對二甲苯是一種獨特的聚合物，具有優異的耐腐蝕性和疏水性，專為醫療應用而設計，包括凍干和滅菌。
在某些真空工藝中，微粒會對真空計造成風險。對于這些應用，TriCAP傳感器配有保護擋板，可屏蔽肉眼可見的顆粒。結合保護涂層選項，TriCAP傳感器專為具有挑戰性的真空環境而設計。
模擬輸出
有多種模擬輸出縮放選項可供選擇，以模擬其他供應商的真空計和傳感器。一個可選的二級模擬輸出能夠對全量程真空壓力和相對于大氣壓力的壓力信號進行外部監控
模擬輸出電壓為外部讀出或控制提供信號。VPM-15提供的標準電壓輸出信號為1 VDC/10 mbar、Torr或Pascal。
連接數字
RS-232和RS-485串行接口可用于向外部設備傳輸壓力和溫度測量數據。
數字接口支持診斷、預測性維護、服務、校準、設定點配置、模擬輸出縮放，以及用于屏幕可視化的實時真空壓力測量的采集。
可靠的設定點繼電器控制
三個獨立的固態開關繼電器可用于控制外部設備，如泵、閥門和安全聯鎖電路。
與機電繼電器不同，固態繼電器具有更高的可靠性和更快的開關速度，在開關過程中無電弧接觸，無EMI(電磁干擾)。
TriCAP繼電器專為耐用性而設計，通過了UL認證、CSA認證和EN/IEC 60950-1認證，確保對關鍵真空過程和高循環應用的控制具有高度信心。
其他供應商兼容性
VPM-15 TriCAP傳感器具有引腳兼容性、模擬電壓壓力信號仿真以及與其他供應商的真空傳感器和變送器的數字協議仿真。
這些仿真功能可實現傳統micro-Pirani傳感器的快速、無縫性能升級，允許在不改變布線和系統設備軟件的情況下過渡到下一代真空傳感器。
當取代傳統的真空計和傳感器時，VPM-15 TriCAP將在許多應用中提供增強的測量性能。
其他供應商仿真還提供了與其他供應商的控制器和顯示單元的兼容性。
測量和控制先進的真空過程
VPM-15 TriCAP專為測量和控制真空氣體壓力而設計。多個輸出選項不僅僅提供壓力測量信號。
應用與市場
VPM-5 SmartPirani專為先進真空過程的可靠測量和控制而設計，適用于工業和科學領域的廣泛應用。有多種VPM-5配置可供選擇，以滿足各種應用的不同要求。
SENS4 A/S? VPM-15 TriCAP™ 多傳感器真空計規格參數：
規范 | |
| 測量范圍，單位為毫巴 | 1E-6至1333毫巴(7.5E-7至1000托) |
| 測量原理1E-6至1E-3毫巴 | MEMS皮拉尼熱導率 |
| 測量原理1E-3至5E-3毫巴 | 混合MEMS皮拉尼/ CDG |
| 測量原理5E-3至3.99毫巴 | 電容式隔膜真空計(CDG) |
| 測量原理4至5.99毫巴 | 混合CDG /壓電膜片 |
| 測量原理6至1333毫巴 | 壓電膜片 |
| 精度1E-5至9.99E-5毫巴 | 閱讀量的25% |
| 精度1E-4至9.99E-3毫巴 | 閱讀量的5% |
| 精度1E-2至799毫巴 | 讀數的0.5% |
| 精度800至1099毫巴 | 讀數的0.25% |
| 精度1100至1333毫巴 | 0.5%讀數 |
| 滯后1E-3至10毫巴(ISO19685:2017) | 1% |
| 滯后10至1333毫巴(ISO19685:2017) | 0.1% |
| 模擬輸出分辨率 | 16位(150 μV) |
| 模擬輸出更新速率 | 124赫茲 |
| 響應時間(ISO 19685:2017) | <20 ms |
| 溫度補償 | +10至+50攝氏度 |
| 固態繼電器設定點范圍 | 5E-6至1333毫巴(3.75E-6至1000托) |
| 固態繼電器觸點額定值 | 50伏，100毫安/兆周 |
| 固態繼電器認證 | UL認可:文件E76270 CSA認證:證書1175739 EN/IEC 60950-1認證 |
| 環境條件 | |
| 工作環境溫度 | -20至+50攝氏度 |
| 介質溫度 | -20至+50攝氏度 |
| 儲存環境溫度 | -20至+80攝氏度 |
| 烘烤溫度(非運行) | +80攝氏度 |
| 最大介質壓力(3) | 4巴絕對壓力 |
| 安裝位置 | 任意(4) |
| 防護等級，EN 60529/A2:2013 | IP40 |
| 濕度，IEC 68-2-38 | 98%，非冷凝 |
| 電源 | |
| 電源電壓 | 12-30伏直流電 |
| 功率消耗 | 350 mW(最大值) |
| 反極性保護 | 是 |
| 過電壓保護 | 是 |
| 內部保險絲 | 100毫安(熱恢復) |
| 材料 | |
| 圍場 | 不銹鋼1.4307 / AISI 304L /鋁6061 |
| 真空工藝法蘭(介質潤濕) | SS 1.4401 / AISI 316 |
| 真空暴露材料(介質潤濕)標準版本 | 316不銹鋼、可伐合金、玻璃、硅、鎳、鋁、二氧化硅、Si3N4、AI2O3、金、氟橡膠、低排氣環氧樹脂、焊料、RO4305、玻璃質二氧化硅 |
| 真空暴露材料(介質潤濕)聚對二甲苯保護版 | 316不銹鋼、氟橡膠、聚對二甲苯 |
| 真空暴露材料(介質潤濕)陶瓷保護版本 | 316不銹鋼、氟橡膠、氧化鋁陶瓷(AI2O3) |
| 過程密封性 | <1·10-9 mbar·l/s |
