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丹麥SENS4? VPM-7 SmartPirani™ ATM 系列真空傳感器
VPM-7 SmartPirani™ ATM?Transducer
VPM-7 smart pirani ATM該傳感器設計用于半導體負載鎖定精密壓力控制和其他真空應用，在這些應用中，相對于大氣環境壓力的精確壓力測量非常重要。
它提供了同類最佳的性能，測量范圍更廣，精度更高，測量周期比傳統產品更快裝載鎖傳感器和其他負載鎖定傳感器解決方案。
SmartPirani™ATM通過將熱導皮拉尼熱損失真空計的可用測量范圍延長1-30年，建立了新的標準。
丹麥SENS4? VPM-7 SmartPirani™ ATM 系列真空傳感器訂貨號：
DN16KF法蘭系列
VCR4F法蘭法蘭系列
裝載鎖是一種真空室，用于將器件如半導體晶片從環境氣壓裝載到真空處理室中。裝載鎖通常在大氣壓和將晶片轉移到處理室所需的適當真空水平之間循環。負載鎖定裝置內的精確壓力控制對于防止環境空氣和微粒污染、保護腔室和晶片至關重要。
測量和控制負載鎖定過程
VPM-7 SmartPirani ATM專為測量和控制真空氣體壓力而設計。多個輸出選項不僅僅提供壓力測量信號。
可靠的設定點繼電器控制
三個獨立的固態開關繼電器允許負載鎖定壓力循環的外部控制，包括泵、閥門、安全聯鎖電路、PLC和其他設備。 與機電繼電器不同，固態繼電器具有更高的可靠性和更快的切換時間，無電弧接觸，在切換過程中不會產生EMI(電磁干擾)。 SmartPirani ATM繼電器經久耐用，通過UL認證、CSA認證和EN/IEC 60950-1認證，確保在關鍵真空過程和高循環應用中的可靠性能。
模擬輸出
模擬輸出電壓為外部監測或控制提供信號。VPM-7為毫巴、托或帕斯卡提供每十倍頻程1 VDC的標準電壓輸出。 此外，它可以由用戶配置或預配置各種其他模擬輸出選項，允許無縫替換其他制造商的壓力表。
數字接口
RS-232和RS-485串行接口便于將壓力和溫度測量數據傳輸到外部設備。
該數字接口支持診斷、預測性維護、維修、校準、設定點配置、模擬輸出縮放，以及用于屏幕可視化的真空壓力測量的實時采集。
耐腐蝕傳感器
通常，裝載鎖裝置是干凈的，沒有腐蝕性氣體。然而，可選的耐腐蝕傳感器使VPM-7 SmartPirani ATM能夠在存在腐蝕性化學物質或殘留蝕刻氣體的應用中使用。
陶瓷是一種高度耐腐蝕的材料，通常用于電容式隔膜真空計中的真空傳感器隔膜。
聚對二甲苯是一種獨特的聚合物，以其強耐腐蝕性和疏水性而聞名。
其他供應商插件兼容性?
VPM-7 SmartPirani ATM傳感器可作為傳統真空傳感器的替代產品。
引腳兼容性、模擬電壓壓力信號仿真以及與其他供應商的真空傳感器和變送器的數字協議仿真。
這些仿真功能可以快速、無縫地升級傳統的wire Pirani傳感器、對流規和傳統的micro-Pirani傳感器，允許在不改變布線和系統設備軟件的情況下過渡到下一代真空傳感器。
VPM-7 SmartPirani ATM將在許多應用中取代傳統的真空規和傳感器，從而降低成本并提高測量性能。
自定義設置
VPM-7 SmartPirani ATM傳感器可以定制，以滿足特定的應用要求，使其可以立即用于特定的設備設置。預配置選項包括測量范圍、真空壓力單位、設定點配置和輸出信號縮放。
定制單元被分配一個唯一的零件號，以便將來重新訂購。
丹麥SENS4? VPM-7 SmartPirani™ ATM 系列真空傳感器應用與市場：
VPM-7 SmartPirani ATM專為先進真空過程的可靠測量和控制而設計，適用于負載鎖定系統的壓力控制。有多種VPM-7配置可供選擇，以滿足不同行業和應用的不同要求。
