SENS4,VPM-7,真空變送器,真空計(jì),用于半導(dǎo)體負(fù)載鎖精密壓力控制,VPM-7 SmartPirani™ ATM變送器專為半導(dǎo)體負(fù)載鎖精密壓力控制及其他需要精確測(cè)量相對(duì)于大氣環(huán)境壓力的真空應(yīng)用而設(shè)計(jì)。
VPM-7 SmartPirani™ ATM 變送器
| 真空測(cè)量 |
超寬量程
1.0E-6至1333 mbar（覆蓋9個(gè)數(shù)量級(jí)）
大氣壓切換功能
真空系統(tǒng)排氣的精確壓力控制
氣體無(wú)關(guān)測(cè)量
膜片傳感器檢測(cè)范圍：2至1333 mbar
負(fù)載鎖設(shè)計(jì)
集成化一體式負(fù)載鎖壓力控制解決方案
VPM-7 SmartPirani™ ATM變送器專為半導(dǎo)體負(fù)載鎖精密壓力控制及其他需要精確測(cè)量相對(duì)于大氣環(huán)境壓力的真空應(yīng)用而設(shè)計(jì)。
相比傳統(tǒng)負(fù)載鎖變送器及其他解決方案，本產(chǎn)品具備更寬量程、更高精度及更快測(cè)量周期的頂尖性能。
SmartPirani™ ATM通過(guò)將熱導(dǎo)式皮拉尼真空計(jì)可用量程擴(kuò)展1-3個(gè)數(shù)量級(jí)，樹(shù)立了行業(yè)新標(biāo)準(zhǔn)。
熱銷VPM-7配置?
暢銷款
DN16KF法蘭 | VCR4F接口 | 即插式安裝
型號(hào)：VPM-7-10101232
? DN16KF法蘭
? 標(biāo)準(zhǔn)傳感器
? RS-232接口
? 標(biāo)準(zhǔn)模擬輸出
? 單位：mbar
? 3組設(shè)定點(diǎn)繼電器
? 15針HD D-sub接口
型號(hào)：VPM-7-10201232
? DN16KF法蘭
? 標(biāo)準(zhǔn)傳感器
? RS-485接口
? 標(biāo)準(zhǔn)模擬輸出
? 單位：mbar
? 3組設(shè)定點(diǎn)繼電器
? 15針HD D-sub接口
型號(hào)：VPM-7-10102132
? DN16KF法蘭
? 標(biāo)準(zhǔn)傳感器
? RS-232接口
? 標(biāo)準(zhǔn)模擬輸出
? 單位：torr
? 3組設(shè)定點(diǎn)繼電器
? 15針HD D-sub接口
型號(hào)：VPM-7-10202132
? DN16KF法蘭
? 標(biāo)準(zhǔn)傳感器
? RS-485接口
? 標(biāo)準(zhǔn)模擬輸出
? 單位：torr
? 3組設(shè)定點(diǎn)繼電器
? 15針HD D-sub接口
一體化多傳感器變送器解決方案
VPM-7是真正的多傳感器變送器，集成四種壓力輸出：環(huán)境氣壓傳感器、寬量程皮拉尼熱損耗傳感器、絕對(duì)膜片傳感器和相對(duì)于大氣壓的信號(hào)輸出，協(xié)同優(yōu)化現(xiàn)代負(fù)載鎖真空腔室的精準(zhǔn)壓力控制。膜片傳感器提供2至1333 mbar（1.5至1000 Torr）的氣體無(wú)關(guān)高精度絕對(duì)讀數(shù)。
VPM-7應(yīng)用范圍
負(fù)載鎖是用于將半導(dǎo)體晶圓等器件從常壓環(huán)境傳輸至真空工藝腔室的過(guò)渡腔體，需在常壓與目標(biāo)真空度之間循環(huán)切換。精準(zhǔn)的壓力控制對(duì)防止環(huán)境空氣污染和顆粒侵入至關(guān)重要，可同時(shí)保護(hù)工藝腔和晶圓安全。
負(fù)載鎖工藝測(cè)控
VPM-7 SmartPirani™ ATM專為頂尖的真空氣壓測(cè)控而設(shè)計(jì)，其多重輸出功能遠(yuǎn)超普通壓力信號(hào)測(cè)量。
典型負(fù)載鎖壓力循環(huán)
可靠設(shè)定點(diǎn)繼電器控制
三個(gè)獨(dú)立固態(tài)開(kāi)關(guān)繼電器支持外接負(fù)載鎖壓力循環(huán)控制，包括泵閥、安全聯(lián)鎖電路、PLC等設(shè)備。相比機(jī)電繼電器，固態(tài)繼電器具備更高可靠性、更快切換速度、無(wú)電弧觸點(diǎn)且不產(chǎn)生電磁干擾（EMI），通過(guò)UL認(rèn)證、CSA認(rèn)可及EN/IEC 60950-1標(biāo)準(zhǔn)，確保關(guān)鍵真空工藝和高頻應(yīng)用的穩(wěn)定運(yùn)行。
模擬輸出
提供1 VDC/十進(jìn)制的標(biāo)準(zhǔn)電壓輸出（支持mbar/Torr/Pascal單位），可自定義輸出規(guī)格以實(shí)現(xiàn)與其他品牌儀表的無(wú)縫替換。
數(shù)字接口
RS-232/485串口支持壓力/溫度數(shù)據(jù)傳輸，用于診斷、預(yù)測(cè)性維護(hù)、校準(zhǔn)、設(shè)定點(diǎn)配置及實(shí)時(shí)真空壓力可視化監(jiān)測(cè)。
耐腐蝕傳感器
標(biāo)準(zhǔn)配置適用于潔凈環(huán)境，可選配陶瓷膜片（耐腐蝕）或派瑞林涂層（疏水抗蝕）傳感器應(yīng)對(duì)蝕刻氣體等嚴(yán)苛工況。
兼容第三方設(shè)備
提供引腳兼容、模擬信號(hào)/數(shù)字協(xié)議仿真的即插式升級(jí)方案，可無(wú)縫替換傳統(tǒng)皮拉尼變送器、對(duì)流規(guī)等老舊設(shè)備，無(wú)需更改線纜和系統(tǒng)軟件即可提升測(cè)量性能并降低成本。
定制化設(shè)置
支持測(cè)量范圍、壓力單位、設(shè)定點(diǎn)等預(yù)配置，定制機(jī)型配有專屬料號(hào)便于復(fù)購(gòu)。
應(yīng)用領(lǐng)域
真空熱處理爐：真空退火過(guò)程測(cè)控，可選擋板防護(hù)
空間環(huán)境模擬：極端真空環(huán)境壓力監(jiān)測(cè)
質(zhì)譜儀：低氣壓測(cè)量支持
半導(dǎo)體：負(fù)載鎖精準(zhǔn)控壓，兼容舊型號(hào)替換
電子顯微鏡：真空/環(huán)境壓差同步監(jiān)測(cè)
PVD鍍膜：配備可維護(hù)擋板的長(zhǎng)效鍍膜應(yīng)用方案
http://ydzhly.com/sens4-vacuum-pressure/sens4vpm-7真空變送器真空計(jì)用于半導(dǎo)體負(fù)載鎖精密壓力/
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