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VDM-2 陶瓷膜片真空變送器
| 真空測量 |
0.1至1333 mbar量程
陶瓷膜片傳感器實現(xiàn)氣體類型無關(guān)測量
耐腐蝕特性
兼容多種酸類和溶劑
多模式控制
模擬/數(shù)字接口及過程控制繼電器
即插式替換
引腳與輸出兼容其他廠商鋼制壓電變送器
VDM-2采用耐腐蝕氧化鋁膜片，通過壓阻原理測量壓力形變。相比油浸式鋼制壓電變送器，干式陶瓷傳感器徹底消除真空系統(tǒng)污染風險，可作為1000 Torr/mbar量程電容規(guī)（CDG）的經(jīng)濟替代方案。
嚴苛環(huán)境適配
- 標配氧化鋁陶瓷膜片耐酸堿腐蝕
- 可選派瑞林涂層（醫(yī)用級疏水防腐材料）
- 防護擋板可選配（防顆粒物沉積）
- 耐受2 bar絕壓（29 psia）瞬時過壓
測控功能
模擬輸出
支持自定義線性標定，兼容多品牌儀表替換
數(shù)字接口
RS-232/485抗干擾傳輸，具備：
- 實時數(shù)據(jù)可視化
- 100 Torr量程模擬輸出時，數(shù)字接口仍保持1333 mbar全量程
固態(tài)繼電器控制
3組UL/CSA/EN認證繼電器，特點：
- 無電弧/無電磁干擾
- 開關(guān)速度比機電繼電器快10倍
兼容性設計
- 引腳定義兼容MKS902B等主流型號
- 模擬輸出曲線可編程模擬他廠產(chǎn)品
- 數(shù)字協(xié)議仿真實現(xiàn)控制系統(tǒng)無縫對接
應用領域
PVD鍍膜
帶可維護擋板的長效鍍膜解決方案
真空熱處理爐
可選擋板/涂層防護的工業(yè)級應用
規(guī)格
測量范圍（mbar）
0.1 至 1333 mbar（0.1 至 1000 Torr）
測量原理
陶瓷膜片壓阻式
精度（100 至 1333 mbar）
讀數(shù)的 0.5%
精度（1 至 99.9 mbar）
滿量程（1333 mbar）的 0.05%
滯后（0.1 至 10 mbar）（ISO19685:2017）
1%
滯后（10 至 1200 mbar）（ISO19685:2017）
0.1%
模擬輸出分辨率
16 位（150 μV）
模擬輸出更新率
560 Hz
響應時間（ISO 19685:2017）
<20 ms
溫度補償
+10 至 +50 °C
固態(tài)繼電器設定范圍
1 至 1333 mbar（0.75 至 1000 Torr）
固態(tài)繼電器觸點額定值
50 V，100 mArms / mADC
固態(tài)繼電器認證
UL 認證：文件號 E76270
CSA 認證：證書號 1175739
EN/IEC 60950-1 認證
環(huán)境條件
工作環(huán)境溫度
-20 至 +50 °C
介質(zhì)溫度
-20 至 +50 °C
儲存環(huán)境溫度
-40 至 +80 °C
烘烤溫度（非工作狀態(tài)）
+80 °C
最大介質(zhì)壓力(3)
2 bar 絕壓（29 psia）
爆破壓力(4)
4 bar 絕壓（58 psia）
安裝位置
任意
防護等級（EN 60529/A2:2013）
IP40
濕度（IEC 68-2-38）
98%，非冷凝
電源
電源電壓
12-30 VDC
功耗
最大 240 mW
反極性保護
是
過壓保護
是
內(nèi)部保險絲
100 mA（可自動恢復的熱保險絲）
材料
外殼
不銹鋼 1.4307 / AISI 304L / 鋁合金 6061
真空工藝法蘭（與介質(zhì)接觸）
不銹鋼 1.4401 / AISI 316
真空暴露材料（與介質(zhì)接觸）標準版本
316 不銹鋼，Viton?，氧化鋁陶瓷（Al?O?）
真空暴露材料（與介質(zhì)接觸）Parylene 保護版本
316 不銹鋼，Viton?，Parylene
工藝泄漏密封性
<1·10?? mbar·l/s
認證
CE 認證
符合 EMC 指令 2014/30/EU
RoHS 合規(guī)性
符合指令 EU 2015/863
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