SENS4,VDM-3,陶瓷膜片真空變送器,PVD鍍膜,爐內(nèi)真空,空間模擬

SENS4,VDM-3,陶瓷膜片真空變送器,PVD鍍膜,爐內(nèi)真空,空間模擬,VDM-3 傳感器專為先進(jìn)的真空工藝的可靠測(cè)量和控制而設(shè)計(jì)，適用于廣泛的工業(yè)和科研應(yīng)用。多種型號(hào)的 VDM-3 傳感器可滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景的各種需求。

VDM-3 陶瓷膜片真空變送器
| 真空測(cè)量 |

基礎(chǔ)參數(shù)

  • 量程范圍：0.1~1333 mbar
  • 測(cè)量原理：陶瓷膜片壓阻式（氣體類型無(wú)關(guān)）
  • 耐腐蝕性：兼容強(qiáng)酸/有機(jī)溶劑

核心功能

  1. 雙傳感器復(fù)合測(cè)量：
    • 絕對(duì)真空壓力測(cè)量
    • 大氣壓參考式相對(duì)壓力測(cè)量
  2. 真空系統(tǒng)排氣控制：
    • 表壓測(cè)量模式
    • 大氣壓切換功能

技術(shù)優(yōu)勢(shì)

  • 干式氧化鋁陶瓷膜片（無(wú)油污風(fēng)險(xiǎn)）
  • 可選派瑞林防腐涂層（醫(yī)療級(jí)疏水材料）
  • 防護(hù)擋板選配（防顆粒沉積）
  • 耐受2 bar絕壓（29 psia）瞬時(shí)過(guò)載

接口與控制

  • 模擬輸出：支持自定義標(biāo)定曲線，兼容主流品牌替換
  • 數(shù)字接口：RS-232/485抗干擾傳輸
  • 固態(tài)繼電器：3組UL/CSA認(rèn)證觸點(diǎn)（無(wú)電弧/零EMI）

兼容性設(shè)計(jì)

  • 引腳定義兼容MKS902B等工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
  • 模擬輸出/數(shù)字協(xié)議可仿真他廠產(chǎn)品

應(yīng)用與市場(chǎng)
VDM-3 傳感器專為先進(jìn)的真空工藝的可靠測(cè)量和控制而設(shè)計(jì)，適用于廣泛的工業(yè)和科研應(yīng)用。多種型號(hào)的 VDM-3 傳感器可滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景的各種需求。

PVD
PVD鍍膜
VPM-5 配備可維護(hù)的擋板保護(hù)，適用于物理氣相沉積（PVD）鍍膜應(yīng)用，并具有較長(zhǎng)的使用壽命。

爐內(nèi)真空應(yīng)用
工業(yè)爐
在真空熱處理過(guò)程中測(cè)量和控制真空。可選配擋板和鍍層保護(hù)，以滿足工業(yè)應(yīng)用需求。

空間模擬
空間模擬
在模擬太空惡劣環(huán)境時(shí)，測(cè)量真空氣體壓力。

氫氣真空
氫氣供應(yīng)
用于測(cè)量和監(jiān)控氫氣儲(chǔ)存罐和供氣管線中的隔熱真空。

半導(dǎo)體
半導(dǎo)體行業(yè)
在半導(dǎo)體應(yīng)用中進(jìn)行 CVD、PVD 和前級(jí)真空測(cè)量。可選配耐腐蝕陶瓷傳感器。

壓縮機(jī)服務(wù)
利用 VPM-5 提供的低壓測(cè)量能力，用于質(zhì)譜儀設(shè)備。

VDM-3 陶瓷膜片真空變送器技術(shù)規(guī)格

測(cè)量參數(shù)
??量程范圍：0.1~1333 mbar（0.1~1000 Torr）
??測(cè)量原理：陶瓷膜片壓阻式
??精度：

  • 100~1333 mbar：讀數(shù)的±0.5%
  • 1~99.9 mbar：滿量程的±0.05%（基于1333 mbar）
    ??滯后性（ISO19685:2017）：
  • 0.1~10 mbar：1%
  • 10~1200 mbar：0.1%

電氣特性
‖?模擬輸出：

  • 分辨率：16位（150 μV）
  • 更新率：560 Hz
    ‖?響應(yīng)時(shí)間（ISO 19685:2017）：<20 ms
    ‖?溫度補(bǔ)償范圍：+10~+50°C

固態(tài)繼電器
◆?設(shè)定點(diǎn)范圍：1~1333 mbar（0.75~1000 Torr）
◆?觸點(diǎn)容量：50V/100mA
◆?認(rèn)證：

  • UL認(rèn)證（文件號(hào)E76270）
  • CSA認(rèn)證（證書(shū)號(hào)1175739）
  • EN/IEC 60950-1認(rèn)證

環(huán)境條件
√?工作溫度：-20~+50°C
√?介質(zhì)溫度：-20~+50°C
√?存儲(chǔ)溫度：-40~+80°C
√?烘烤溫度（非工作狀態(tài)）：+80°C
√?最大介質(zhì)壓力：2 bar絕壓（29 psia）
√?爆破壓力：4 bar絕壓（58 psia）
√?防護(hù)等級(jí)（EN 60529/A2:2013）：IP40
√?濕度（IEC 68-2-38）：98%（無(wú)冷凝）

電源
※?供電電壓：12~30 VDC
※?功耗：≤240 mW
※?保護(hù)功能：

  • 反極性保護(hù)
  • 過(guò)壓保護(hù)
  • 100mA自恢復(fù)保險(xiǎn)絲

材料
??外殼：SS 1.4307/AISI 304L/鋁合金6061
??真空法蘭（接觸介質(zhì)）：SS 1.4401/AISI 316
??標(biāo)準(zhǔn)版真空接觸材料：
316不銹鋼/Viton?/氧化鋁陶瓷（Al?O?）
??派瑞林保護(hù)版：
316不銹鋼/Viton?/派瑞林涂層
??工藝泄漏率：<1×10?? mbar·l/s

認(rèn)證
◇?CE認(rèn)證：符合EMC指令2014/30/EU
◇?RoHS合規(guī)：符合EU 2015/863指令

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