SENS4,VPM-4,真空變送器,真空開關功能優化,全量程測量大氣壓及以上,采用先進MEMS傳感器與數字信號處理架構，將熱導式真空規量程向下擴展1-3個數量級。專為真空開關功能優化，需全量程測量（至大氣壓及以上）時推薦VPM-5型號。
VPM-4 SmartPirani™ Lite 真空變送器
| 真空測量 |
核心特性
??超寬量程MEMS皮拉尼傳感器：1.0E-6~10 mbar
??耐腐蝕選配：陶瓷/派瑞林涂層防護
??數字接口：RS-232/485系統集成
??過程控制：可編程繼電器實現真空開關功能
技術突破
采用先進MEMS傳感器與數字信號處理架構，將熱導式真空規量程向下擴展1-3個數量級。專為真空開關功能優化，需全量程測量（至大氣壓及以上）時推薦VPM-5型號。
嚴苛工況適配
- 防腐選項：
? 陶瓷防護層（電容規級耐腐蝕）
? 醫用級派瑞林涂層（耐過氧化氫等離子滅菌） - 防顆粒選配：可拆卸擋板防護
測控功能
模擬輸出
1 VDC/十進制的標準輸出（支持mbar/Torr/Pascal），兼容主流品牌儀表替換
數字接口
RS-232/485抗干擾傳輸，支持：
- 實時壓力可視化
- 遠程診斷/校準
- 設定點配置
固態繼電器
3組UL/CSA認證觸點：
- 無電弧/零EMI
- 開關速度比機電繼電器快10倍
兼容性設計
- 引腳定義兼容傳統皮拉尼規
- 模擬輸出曲線/數字協議可仿真他廠產品
- S4-Connect技術通過電源線實現數字通信
應用領域
PVD鍍膜：帶可維護擋板的鍍膜工藝
前級管路監測：可編程繼電器控制外圍設備
空間模擬：極端真空環境測量
氫能系統：儲氫罐絕緣真空監測
半導體：CVD/PVD工藝真空控制
質譜儀：低氣壓測量支持
規格
測量范圍（mbar）
1×10?? 至 10 mbar（7.5×10?? 至 7.5 Torr）
測量原理
1×10?? 至 10 mbar
MEMS 皮拉尼熱導法
精度
1×10?? 至 9.99×10?? mbar
讀數的 25%
1×10?? 至 9.99×10?1 mbar
讀數的 5%
1.00 至 10 mbar
讀數的 30%
滯后（根據 ISO19685:2017）
1×10?3 至 10 mbar
1%
模擬輸出分辨率
16 位（150 μV）
模擬輸出更新率
124 Hz
響應時間（根據 ISO 19685:2017）
<20 ms
溫度補償
+10 至 +50 °C
固態繼電器設定范圍
5×10?? 至 1333 mbar（3.75×10?? 至 1000 Torr）
固態繼電器觸點額定值
50 V，100 mArms / mADC
固態繼電器認證
UL 認證：文件號 E76270
CSA 認證：證書號 1175739
EN/IEC 60950-1 認證
環境條件
工作環境溫度
-20 至 +50 °C
介質溫度
-20 至 +50 °C
儲存環境溫度
-40 至 +120 °C
烘烤溫度（非工作狀態）
+120 °C
最大介質壓力(3)
10 bar 絕對壓力
安裝位置
任意
防護等級（根據 EN 60529/A2:2013）
IP40
濕度（根據 IEC 68-2-38）
98%，不凝結
電源
電源電壓
12-30 VDC
功耗
最大 240 mW
反接保護
是
過壓保護
是
內部保險絲
100 mA（可恢復熱保險絲）
材料
外殼
SS 1.4307 / AISI 304L / 鋁 6061
真空工藝法蘭（接觸介質）
SS 1.4401 / AISI 316
接觸真空材料（接觸介質）標準版本
316 不銹鋼、Kovar、玻璃、硅、鎳、鋁、SiO?、Si?N?、金、Viton?、低析氣環氧樹脂
接觸真空材料（接觸介質）Parylene 保護版本
316 不銹鋼、Viton?、Parylene
接觸真空材料（接觸介質）陶瓷保護版本
316 不銹鋼、Viton?、氧化鋁陶瓷（Al?O?）
工藝泄漏密封性
<1×10?? mbar·l/s
可靠性
MTBF（平均無故障時間）
13,092,170 小時
失效率 FIT（每 10? 小時內的失效次數）
76.38
認證
CE
電磁兼容指令 2014/30/EU
RoHS 符合性
指令 EU 2015/863
(1) 精度規格為在零點調整后、穩定溫度下的典型值。
(2) Viton? 是 THE CHEMOURS COMPANY FC, LLC 的商標。
(3) 超壓限制僅在使用符合規格的接頭時適用。
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