SENS4,VPM-5,SmartPirani™,真空變送器,超寬量程耐腐蝕真空計

SENS4,VPM-5,SmartPirani™,真空變送器,超寬量程耐腐蝕真空計,基于MEMS傳感器與數(shù)字信號處理創(chuàng)新架構，將熱導式真空規(guī)量程擴展1-3個數(shù)量級，消除傳統(tǒng)皮拉尼規(guī)氣體依賴性，精度媲美電容規(guī)。

VPM-5 SmartPirani™ 真空變送器
| 真空測量 |

核心特性
??超寬量程：1.0E-6~1333 mbar（覆蓋9個數(shù)量級）
??耐腐蝕選配：陶瓷/派瑞林涂層防護
??氣體無關測量：2~1333 mbar采用精密膜片傳感器
??卓越性價比：多場景真空應用標桿性能

技術突破
基于MEMS傳感器與數(shù)字信號處理創(chuàng)新架構，將熱導式真空規(guī)量程擴展1-3個數(shù)量級，消除傳統(tǒng)皮拉尼規(guī)氣體依賴性，精度媲美電容規(guī)。

嚴苛工況適配

  • 防腐選項：
    ? 陶瓷防護（電容規(guī)級耐腐蝕）
    ? 醫(yī)用級派瑞林涂層（耐滅菌工藝）
  • 防顆粒設計：可拆卸擋板防護

熱銷型號
VPM-5-10101211
? DN16KF法蘭 | RS-232接口 | mbar單位 | 1組繼電器 | 9針D-sub

VPM-5-10201211
? DN16KF法蘭 | RS-485接口 | mbar單位 | 1組繼電器 | 9針D-sub

測控功能
模擬輸出
1 VDC/十進制的標準輸出（支持mbar/Torr/Pascal），兼容主流品牌替換

數(shù)字接口
RS-232/485支持：

  • 實時壓力可視化
  • 遠程診斷/校準
  • 設定點配置

固態(tài)繼電器
3組UL/CSA認證觸點：

  • 無電弧/零EMI
  • 開關速度提升10倍

兼容性設計

  • 引腳/信號/協(xié)議全兼容傳統(tǒng)皮拉尼規(guī)
  • S4-Connect技術通過電源線實現(xiàn)數(shù)字通信

應用領域
PVD鍍膜：帶可維護擋板的鍍膜方案
真空熱處理：工業(yè)級爐壓控制
空間模擬：極端環(huán)境壓力監(jiān)測
氫能系統(tǒng)：儲氫罐真空絕緣監(jiān)測
半導體：CVD/PVD工藝控制
質譜儀：低氣壓測量支持

規(guī)格

測量范圍（mbar）

  • 1×10?? 至 1333 mbar（7.5×10?? 至 1000 Torr）

測量原理

  • 1×10?? 至 1.5 mbar：MEMS 皮拉尼（Pirani）熱導率

  • 1.5 至 2 mbar：混合 MEMS 皮拉尼/壓阻式讀數(shù)

  • 2 至 1333 mbar：MEMS 壓阻式隔膜

精度

  • 1×10?? 至 9.99×10?? mbar：讀數(shù)的 25%

  • 1×10?? 至 7.99 mbar：讀數(shù)的 5%

  • 8.00 至 99.9 mbar：讀數(shù)的 1%

  • 100 至 800 mbar：讀數(shù)的 0.5%

  • 800 至 1099 mbar：讀數(shù)的 0.25%

  • 1100 至 1333 mbar：讀數(shù)的 0.5%

滯后性

  • 1×10?3 至 10 mbar（符合 ISO 19685:2017）：1%

  • 10 至 1333 mbar（符合 ISO 19685:2017）：0.1%

模擬輸出

  • **分辨率：**16 位（150 μV）

  • **更新速率：**124 Hz

響應時間（符合 ISO 19685:2017）

  • <20 毫秒

溫度補償

  • +10 至 +50 °C

固態(tài)繼電器設定范圍

  • 5×10?? 至 1333 mbar（3.75×10?? 至 1000 Torr）

固態(tài)繼電器觸點額定值

  • 50 V，100 mArms / mADC

固態(tài)繼電器認證

  • UL 認證：文件號 E76270

  • CSA 認證：證書號 1175739

  • EN/IEC 60950-1 認證

環(huán)境條件

  • 工作環(huán)境溫度：-20 至 +50 °C

  • 介質溫度：-20 至 +50 °C

  • 存儲環(huán)境溫度：-40 至 +120 °C

  • 烘烤溫度（非工作狀態(tài)）：+120 °C

  • **最大介質壓力(3)：**10 bar 絕壓

  • **安裝位置：**任意

  • **防護等級（符合 EN 60529/A2:2013）：**IP40

  • **濕度（符合 IEC 68-2-38）：**98%，非冷凝

電源

  • **供電電壓：**12-30 VDC

  • **功耗：**最大 240 mW

  • **反接保護：**是

  • **過壓保護：**是

  • **內部保險絲：**100 mA（熱恢復型）

材料

  • **外殼：**SS 1.4307 / AISI 304L / 鋁 6061

  • **真空工藝法蘭（接觸介質）：**SS 1.4401 / AISI 316

接觸介質的真空暴露材料（標準版本）

  • 316 不銹鋼、Kovar、玻璃、硅、鎳、鋁、SiO?、Si?N?、金、Viton?、低析氣環(huán)氧樹脂、焊料、RO4305

接觸介質的真空暴露材料（Parylene 保護版本）

  • 316 不銹鋼、Viton?、Parylene

接觸介質的真空暴露材料（陶瓷保護版本）

  • 316 不銹鋼、Viton?、氧化鋁陶瓷 (Al?O?)

工藝泄漏密封性

  • <1×10?? mbar·l/s

可靠性

  • **MTBF（平均無故障時間）：**13,092,170 小時

  • **故障率（FIT，時間=10E+9 小時）：**76.38

認證

  • **CE：**符合 EMC 指令 2014/30/EU

  • **RoHS 合規(guī)性：**符合 EU 指令 2015/863

SENS4,VPM-5,SmartPirani™,真空變送器,超寬量程耐腐蝕真空計
SENS4,VPM-5,SmartPirani™,真空變送器,超寬量程耐腐蝕真空計

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