SENS4,VPM-17 TriCAP™ ATM 傳感器,多傳感器真空計,VPM-17 TriCAP™ ATM傳感器為廣域真空應用樹立了全新的一體化測量標準。相比傳統真空計，它不僅提供5.0E-3至1333 mbar經濟高效的氣體無關測量范圍，還具備低至1E-6 mbar的皮拉尼熱損耗測量能力。

VPM-17 TriCAP™ ATM 傳感器
| 真空 |

超寬測量范圍
9個數量級覆蓋1.0E-6至1333 mbar，其中5E-3至1333 mbar為氣體無關測量

創新四傳感器組合
集成MEMS皮拉尼、電容膜片、壓電膜片及氣壓傳感器

CDG自動調零功能
CDG自動調零功能無需手動校準

大氣壓切換功能
相對大氣壓測量實現真空系統精準排氣控制

VPM-17 TriCAP™ ATM傳感器為廣域真空應用樹立了全新的一體化測量標準。相比傳統真空計，它不僅提供5.0E-3至1333 mbar經濟高效的氣體無關測量范圍，還具備低至1E-6 mbar的皮拉尼熱損耗測量能力。

在氣體成分可能變化的真空應用中，傳統氣體依賴型皮拉尼計會導致測量偏差。TriCAP™ ATM采用高精度電容式膜片規（CDG）傳感器，徹底消除氣體依賴性，即使氣體特性變化也能確保測量精準。

除真空測量外，VPM-17支持相對大氣壓的壓力測量，可精確控制真空系統排氣流程。——重新定義真空測量
TriCAP™ ATM是真正創新的多傳感器真空計，既可用于升級傳統皮拉尼計應用，也可作為分立式電容規與皮拉尼計的經濟型一體化替代方案。

VPM-17測量范圍
CDG自動調零
集成MEMS皮拉尼熱損耗傳感器將測量范圍擴展至1E-6 mbar，并為電容規引入創新自動調零功能，省去傳統電容膜片規繁瑣的手動調零步驟。無需按鍵操作——抽真空至自動調零點后，電容膜片規即自動校準并準備就緒。

嚴苛應用適配
針對可能接觸腐蝕性或活性氣體的環境，TriCAP™可選配防護涂層作為有效屏障。

該系列提供陶瓷或聚對二甲苯保護層選項，防止傳感器材料腐蝕氧化。陶瓷具有卓越耐腐蝕性，是電容膜片規真空傳感器膜片的可靠材質。聚對二甲苯作為特種聚合物，兼具優異耐腐蝕性與疏水性，特別適合凍干滅菌等醫療應用。

某些真空工藝中的顆粒可能威脅儀表安全。為此TriCAP™可選配防護擋板阻擋宏觀顆粒，結合防護涂層選項，專為極端真空環境打造。

帶防護擋板的VPM-17傳感器
模擬輸出
提供多種模擬輸出縮放選項，可模擬其他廠商真空計及變送器信號。

可選次級模擬輸出支持同步監測全量程真空壓力及相對大氣壓信號。

標準配置提供1VDC/十倍頻程（mbar/Torr/Pascal）電壓輸出信號，適用于外部讀取或控制。

數字連接
RS-232與RS-485串行接口可傳輸壓力溫度數據至外部設備。

數字接口支持診斷、預測性維護、校準、設定點配置、模擬輸出縮放及實時真空壓力數據可視化。配套數據記錄軟件便于PC端交互。

可靠設定點繼電器控制
三個獨立固態開關繼電器可控制泵閥、安全聯鎖等外部設備。

相比機電繼電器，固態方案具備更高可靠性、更快切換速度，且無電弧接觸與電磁干擾（EMI）。

TriCAP™繼電器通過UL認證、CSA認可及EN/IEC 60950-1認證，確保關鍵真空流程與高頻應用的控制安全。

第三方兼容性
VPM-17 TriCAP™ ATM提供引腳兼容、模擬電壓信號模擬及數字協議模擬功能，可匹配其他廠商真空傳感器與變送器。

這些特性支持快速無縫升級傳統微型皮拉尼傳感器，無需更改線纜與系統軟件即可過渡至新一代產品。

替換傳統真空計時，VPM-17 TriCAP™ ATM能在多數場景提供增強性能，其模擬功能還兼容第三方控制器與顯示單元。

定制化設置
可根據具體應用需求預配置測量范圍、壓力單位、設定點參數及輸出信號縮放等參數，實現開箱即用。定制產品配有專屬料號便于后續采購。

應用領域
VPM-17 TriCAP™專為先進真空工藝的測控設計，適用于工業與科研多領域：

氫能真空
儲氫罐及供應管線的絕緣真空監測

半導體
化學氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)及前級管線真空測量（可選耐腐蝕陶瓷傳感器）

質譜儀
利用其低壓測量能力適配質譜設備

PVD鍍膜
配備可維護擋板的VPM-17適用于物理氣相沉積鍍膜場景

真空熱處理
熱處理過程真空度測控（可選工業級擋板與涂層防護）

空間模擬
太空極端環境模擬中的真空氣體壓力測量

規格參數

測量范圍（mbar）

• 1E-6 至 1333 mbar（7.5E-7 至 1000 Torr）

測量原理

• 1E-6 至 1E-3 mbar：MEMS 皮拉尼（Pirani）熱導原理

• 1E-3 至 5E-3 mbar：混合 MEMS 皮拉尼 / CDG

• 5E-3 至 3.99 mbar：電容膜片規（CDG）

• 4 至 5.99 mbar：混合 CDG / 壓電膜片

• 6 至 1333 mbar：壓電膜片

精度

• 1E-5 至 9.99E-5 mbar：讀數的 25%

• 1E-4 至 9.99E-3 mbar：讀數的 5%

• 1E-2 至 799 mbar：讀數的 0.5%

• 800 至 1099 mbar：讀數的 0.25%

• 1100 至 1333 mbar：讀數的 0.5%

氣壓測量范圍

• 300 至 1200 mbar

氣壓測量精度

• ± 0.5 mbar

相對于大氣壓力的輸出范圍

• -1333 至 +1333 mbar

滯后（ISO19685:2017）

• 1E-3 至 10 mbar：1%

• 10 至 1333 mbar：0.1%

模擬輸出分辨率

• 16 位（150 μV）

模擬輸出更新速率

• 124 Hz

響應時間（ISO19685:2017）

• < 20 ms

溫度補償范圍

• +10 至 +50 °C

固態繼電器設定范圍

• 5E-6 至 1333 mbar（3.75E-6 至 1000 Torr）

固態繼電器觸點額定值

• 50 V，100 mArms / mADC

固態繼電器認證

• UL 認證：文件號 E76270

• CSA 認證：證書號 1175739

• EN/IEC 60950-1 認證

環境條件

工作環境溫度

• -20 至 +50 °C

介質溫度

• -20 至 +50 °C

儲存環境溫度

• -20 至 +80 °C

烘烤溫度（非工作狀態）

• +80 °C

最大介質壓力(3)

• 4 bar 絕對壓力

安裝位置

• 任意方向 (4)

防護等級（EN 60529/A2:2013）

• IP40

濕度（IEC 68-2-38）

• 98%，無冷凝

電源

供電電壓

• 12-30 VDC

功耗

• 最大 350 mW

反接保護

• 是

過壓保護

• 是

內部保險絲

• 100 mA（可自恢復熱保險絲）

材料

外殼

• 不銹鋼 1.4307 / AISI 304L / 鋁 6061

真空工藝法蘭（接觸介質）

• 不銹鋼 1.4401 / AISI 316

接觸介質的真空暴露材料（標準版本）

• 316 不銹鋼、Kovar、玻璃、硅、鎳、鋁、SiO?、Si?N?、Al?O?、金、Viton?、低析氣環氧樹脂、焊料、RO4305、玻璃態石英

接觸介質的真空暴露材料（Parylene 保護版本）

• 316 不銹鋼、Viton?、Parylene

接觸介質的真空暴露材料（陶瓷保護版本）

• 316 不銹鋼、Viton?、氧化鋁陶瓷（Al?O?）

工藝密封性

• <1·10?? mbar·l/s

認證

• CE

• 電磁兼容性（EMC）指令：2014/30/EU

• RoHS 合規性：EU 2015/863 指令

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