膜片傳感器技術
VCM-1變送器采用氧化鋁陶瓷傳感器膜片，將壓力轉換為電信號。該傳感器采用干式膜片設計，無需油填充。
VCM-1測量范圍
陶瓷傳感器表面結合316不銹鋼法蘭和內部Viton?密封，具有優異的耐化學性，兼容各種腐蝕性氣體、溶劑和酸。
VCM-1傳感器經久耐用，可承受持續振動和從真空到大氣壓的快速壓力變化。每臺產品均經過單獨測試、校準和溫度漂移補償，校準數據存儲在內部非易失性存儲器中。
模擬電壓輸出
提供電壓或電流信號用于外部壓力讀取或控制。VCM-1提供傳統模擬輸出（如4-20 mA和0-10 VDC）及多種可選數字接口版本。
S4-Connect™編程器
創新的S4-Connect™ USB數字通信接口可訪問強大的數字核心，支持通過電源線進行數字通信，無需額外連接引腳。該接口可用于診斷、維護、服務、校準、設定點配置、模擬輸出縮放和其他參數定制。產品還具有與行業標準模擬變送器引腳兼容的設計。
過程壓力控制與監測
可選設定點可通過固態繼電器控制或監測壓力，基本控制采用帶可編程設定點和滯后值的開關調節。
先進外殼設計
IP67密封的316不銹鋼外殼集成疏水膜，專為極端環境設計。創新的濕度控制屏障可在環境壓力、溫度和濕度波動時防止內部水分積聚和冷凝。表壓傳感器相對于環境壓力測量，疏水膜在天氣或海拔變化時提供壓力平衡。
定制設置
VCM1變送器可定制配置以滿足特定應用需求，開箱即可用于特定設備安裝。預配置選項包括測量范圍、真空壓力單位、設定點配置和輸出信號縮放。定制產品將分配唯一料號以便后續訂購。
應用與市場
VCM-1專為嚴苛工業環境設計，提供多種配置以滿足不同應用需求。
冷凍干燥
用于制藥和食品應用中冷凍干燥系統的粗真空測量與控制。
包裝
真空包裝過程中的真空壓力測量與控制。
前級管路測量
渦輪泵前級管路真空壓力的測量與監測保護。
真空熱處理爐
真空熱處理過程中的真空測量與控制，可選擋板和涂層保護。
手套箱
手套箱系統中確保受控環境的可靠壓力控制。
金剛石MOCVD
MOCVD應用中的真空壓力測量。
技術規格
測量范圍 (mbar)
0.1 至 1333 mbar (0.1 至 1000 Torr)
測量原理
陶瓷膜片壓阻式
精度
- 100 至 1333 mbar：讀數的 0.5%
- 1 至 99.9 mbar：滿量程 (1333 mbar) 的 0.05%
滯后性 (ISO19685:2017)
- 0.1 至 10 mbar：1%
- 10 至 1200 mbar：0.1%
模擬輸出
- 分辨率：16 位 (150 μV)
- 更新率：560 Hz
響應時間 (ISO 19685:2017)
<20 ms
溫度補償范圍
+10 至 +50 °C
固態繼電器設定點范圍
1 至 1333 mbar (0.75 至 1000 Torr)
固態繼電器觸點額定值
50 V, 100 mArms / mADC
固態繼電器認證
- UL 認證：文件號 E76270
- CSA 認證：證書號 1175739
- EN/IEC 60950-1 認證
環境條件
工作環境溫度
-20 至 +50 °C
介質溫度
-20 至 +50 °C
存儲環境溫度
-40 至 +80 °C
烘烤溫度 (非工作狀態)
+80 °C
最大介質壓力 (3)
2 bar 絕對壓力 (29 psia)
爆破壓力 (4)
4 bar 絕對壓力 (58 psia)
安裝位置
任意
防護等級 (EN 60529/A2:2013)
IP40
濕度 (IEC 68-2-38)
98%，無冷凝
電源
供電電壓
12-30 VDC
功耗
最大 240 mW
反極性保護
有
過壓保護
有
內部保險絲
100 mA (可熱恢復)
材料
外殼
SS 1.4307 / AISI 304L / 鋁合金 6061
真空工藝法蘭 (接觸介質)
SS 1.4401 / AISI 316
真空接觸材料 (標準版)
316 不銹鋼, Viton?, 氧化鋁陶瓷 (AI2O3)
真空接觸材料 (派瑞林保護版)
316 不銹鋼, Viton?, 派瑞林
工藝泄漏率
<1·10-9 mbar·l/s
認證
CE
EMC 指令 2014/30/EU
RoHS 合規
指令 EU 2015/863
備注
(1) 精度規格為穩定溫度下歸零后的典型值。
(2) Viton? 是 THE CHEMOURS COMPANY FC, LLC 的商標。
(3) 過壓限制僅適用于使用符合規格的接頭時。
(4) 爆破壓力為傳感器膜片不破裂的最大壓力。
規格如有變更，恕不另行通知。
