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VDM-2 陶瓷膜片真空變送器
| 真空測量 |

0.1至1333 mbar量程
陶瓷膜片傳感器實現氣體類型無關測量

耐腐蝕特性
兼容多種酸類和溶劑

多模式控制
模擬/數字接口及過程控制繼電器

即插式替換
引腳與輸出兼容其他廠商鋼制壓電變送器

VDM-2采用耐腐蝕氧化鋁膜片，通過壓阻原理測量壓力形變。相比油浸式鋼制壓電變送器，干式陶瓷傳感器徹底消除真空系統污染風險，可作為1000 Torr/mbar量程電容規（CDG）的經濟替代方案。

嚴苛環境適配

• 標配氧化鋁陶瓷膜片耐酸堿腐蝕
• 可選派瑞林涂層（醫用級疏水防腐材料）
• 防護擋板可選配（防顆粒物沉積）
• 耐受2 bar絕壓（29 psia）瞬時過壓

測控功能
模擬輸出
支持自定義線性標定，兼容多品牌儀表替換

數字接口
RS-232/485抗干擾傳輸，具備：

• 實時數據可視化
• 100 Torr量程模擬輸出時，數字接口仍保持1333 mbar全量程

固態繼電器控制
3組UL/CSA/EN認證繼電器，特點：

• 無電弧/無電磁干擾
• 開關速度比機電繼電器快10倍

兼容性設計

• 引腳定義兼容MKS902B等主流型號
• 模擬輸出曲線可編程模擬他廠產品
• 數字協議仿真實現控制系統無縫對接

應用領域
PVD鍍膜
帶可維護擋板的長效鍍膜解決方案

真空熱處理爐
可選擋板/涂層防護的工業級應用

規格

測量范圍（mbar）

• 0.1 至 1333 mbar（0.1 至 1000 Torr）

測量原理

• 陶瓷膜片壓阻式

精度（100 至 1333 mbar）

• 讀數的 0.5%

精度（1 至 99.9 mbar）

• 滿量程（1333 mbar）的 0.05%

滯后（0.1 至 10 mbar）（ISO19685:2017）

• 1%

滯后（10 至 1200 mbar）（ISO19685:2017）

• 0.1%

模擬輸出分辨率

• 16 位（150 μV）

模擬輸出更新率

• 560 Hz

響應時間（ISO 19685:2017）

• <20 ms

溫度補償

• +10 至 +50 °C

固態繼電器設定范圍

• 1 至 1333 mbar（0.75 至 1000 Torr）

固態繼電器觸點額定值

• 50 V，100 mArms / mADC

固態繼電器認證

• UL 認證：文件號 E76270

• CSA 認證：證書號 1175739

• EN/IEC 60950-1 認證

環境條件

工作環境溫度

• -20 至 +50 °C

介質溫度

• -20 至 +50 °C

儲存環境溫度

• -40 至 +80 °C

烘烤溫度（非工作狀態）

• +80 °C

最大介質壓力(3)

• 2 bar 絕壓（29 psia）

爆破壓力(4)

• 4 bar 絕壓（58 psia）

安裝位置

• 任意

防護等級（EN 60529/A2:2013）

• IP40

濕度（IEC 68-2-38）

• 98%，非冷凝

電源

電源電壓

• 12-30 VDC

功耗

• 最大 240 mW

反極性保護

• 是

過壓保護

• 是

內部保險絲

• 100 mA（可自動恢復的熱保險絲）

材料

外殼

• 不銹鋼 1.4307 / AISI 304L / 鋁合金 6061

真空工藝法蘭（與介質接觸）

• 不銹鋼 1.4401 / AISI 316

真空暴露材料（與介質接觸）標準版本

• 316 不銹鋼，Viton?，氧化鋁陶瓷（Al?O?）

真空暴露材料（與介質接觸）Parylene 保護版本

• 316 不銹鋼，Viton?，Parylene

工藝泄漏密封性

• <1·10?? mbar·l/s

認證

CE 認證

• 符合 EMC 指令 2014/30/EU

RoHS 合規性

• 符合指令 EU 2015/863

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