SENS4,VDM-5,DiCAP™,膜片真空變送器

SENS4,VDM-5,DiCAP™,膜片真空變送器,VDM-5 DiCAP™ 旨在為先進的真空工藝提供可靠的測量和控制，適用于工業和科研領域中的各種應用。VDM-5 提供多種配置，可滿足不同應用場景的需求。

VDM-5 DiCAP™ 膜片真空變送器
| 真空測量 |

核心特性
??雙膜片傳感器：5.0E-3~1333 mbar全量程氣體無關測量
??耐腐蝕選配：陶瓷/派瑞林涂層防護
??數字模擬接口：支持數字通信/模擬輸出/繼電器控制
??高性價比：單設備實現雙電容規功能

技術優勢
? 采用電容式膜片傳感器（CDG），徹底解決傳統皮拉尼規的氣體依賴性誤差
? 可選防護配置：

  • 陶瓷膜片（電容規級耐腐蝕）
  • 醫用級派瑞林涂層（耐過氧化氫滅菌）
  • 可拆卸擋板（防顆粒污染）

接口與控制
模擬輸出

  • 標準1 VDC/十進制輸出（mbar/Torr/Pascal可切換）
  • 可仿真主流品牌儀表信號

數字接口
RS-232/485支持：

  • 實時壓力可視化
  • 遠程診斷與校準
  • 設定點編程

固態繼電器
3組UL/CSA認證觸點：

  • 無電弧/零EMI
  • 開關速度比機電繼電器快10倍

兼容性設計

  • 引腳定義兼容傳統微皮拉尼變送器
  • 模擬信號/數字協議全仿真

應用與市場
VDM-5 DiCAP™ 旨在為先進的真空工藝提供可靠的測量和控制，適用于工業和科研領域中的各種應用。VDM-5 提供多種配置，可滿足不同應用場景的需求。

PVD

PVD 涂層
VDM-5 配備可維護的擋板保護，適用于物理氣相沉積（PVD）涂層應用，確保設備的使用壽命和性能。

爐內真空應用

工業爐
在真空熱處理過程中，VDM-5 可對真空進行精確測量和控制。針對工業應用，可選配擋板和涂層保護。

空間模擬

空間模擬
在模擬太空惡劣環境時，VDM-5 可用于測量真空氣體壓力。

真空蒸餾

蒸餾
VDM-5 可用于氫氣儲存罐和輸送管線中保溫真空的測量和監控。

半導體

半導體
VDM-5 可用于半導體工藝中的化學氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）和前級真空測量。可選配耐腐蝕陶瓷傳感器，適用于半導體工藝中的惡劣環境。

等離子體滅菌

VDM-5 采用雙傳感器設計，提供一體化測量解決方案，適用于 H?O? 滅菌應用

VDM-5 DiCAP™ 膜片真空變送器技術規格

測量參數
??量程范圍：5E-3~1333 mbar（3.75E-3~1000 Torr）
??測量原理：

  • 5E-3~3.99 mbar：電容式膜片規（CDG）
  • 4~5.99 mbar：CDG/壓電膜片混合模式
  • 6~1333 mbar：壓電膜片

精度指標

  • 5E-3~9.99E-3 mbar：讀數的5%
  • 1E-2~799 mbar：讀數的0.5%
  • 800~1099 mbar：讀數的0.25%
  • 1100~1333 mbar：讀數的0.5%

電氣特性
‖?模擬輸出：

  • 分辨率：16位（150 μV）
  • 更新率：124 Hz
    ‖?響應時間（ISO 19685:2017）：<20 ms
    ‖?固態繼電器：
  • 設定點范圍：5E-6~1333 mbar
  • 觸點容量：50V/100mA
  • 認證：UL E76270 / CSA 1175739 / EN/IEC 60950-1

環境參數
√?工作溫度：-20~+50°C
√?介質溫度：-20~+50°C
√?存儲溫度：-20~+80°C
√?最大介質壓力：4 bar絕壓
√?防護等級（EN 60529）：IP40

材料規范
??接觸介質材料：

  • 標準版：316不銹鋼/Kovar/玻璃/氧化鋁陶瓷
  • 派瑞林版：316不銹鋼/派瑞林涂層
  • 陶瓷版：316不銹鋼/氧化鋁陶瓷
    ??泄漏率：<1×10?? mbar·l/s

認證標準
◇?CE認證：符合EMC指令2014/30/EU
◇?RoHS合規：符合EU 2015/863指令

SENS4,VDM-5,DiCAP™,膜片真空變送器
SENS4,VDM-5,DiCAP™,膜片真空變送器

http://ydzhly.com/sens4-vacuum-pressure/SENS4,VDM-5,DiCAP™,膜片真空變送器/

https://zhuanlan.zhihu.com/p/1888637202159878582


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