SENS4,VDM-7,DiCAP™ ATM,膜片真空變送器,用于PVD鍍膜,真空熱處理

SENS4,VDM-7,DiCAP™ ATM,膜片真空變送器,用于PVD鍍膜,真空熱處理,采用電容式膜片傳感器（CDG），徹底解決傳統(tǒng)皮拉尼規(guī)的氣體依賴性誤差,集成大氣壓參考傳感器，精準控制真空系統(tǒng)排氣過程,可選防護配置

VDM-7 DiCAP™ ATM 膜片真空變送器
| 真空測量 |

核心特性
??雙膜片傳感器：5.0E-3~1333 mbar全量程氣體無關測量
??耐腐蝕選配：陶瓷/派瑞林涂層防護
??數(shù)字模擬接口：支持數(shù)字通信/模擬輸出/繼電器控制
??大氣壓切換：環(huán)境壓力參考測量實現(xiàn)精準排氣控制

技術優(yōu)勢
? 采用電容式膜片傳感器（CDG），徹底解決傳統(tǒng)皮拉尼規(guī)的氣體依賴性誤差
? 集成大氣壓參考傳感器，精準控制真空系統(tǒng)排氣過程
? 可選防護配置：

  • 陶瓷膜片（電容規(guī)級耐腐蝕）
  • 醫(yī)用級派瑞林涂層（耐滅菌工藝）

VDM-7 DiCAP™ ATM 膜片真空變送器

技術革新
? 集成大氣壓傳感器技術（源自VPM-7負載鎖專用變送器）
? 壓電絕對真空傳感器+氣壓傳感器復合測量，實現(xiàn)：

  • 全量程氣體無關檢測（5.0E-3~1333 mbar）
  • 基于環(huán)境壓力的相對壓力信號輸出
  • 真空系統(tǒng)排氣過程精準控制

嚴苛環(huán)境適配

  • 防腐方案：
    ▶ 陶瓷膜片（電容規(guī)級耐腐蝕）
    ▶ 醫(yī)用級派瑞林涂層（耐過氧化氫滅菌）
  • 防顆粒設計：可拆卸擋板防護

測控功能
模擬輸出
? 標準1 VDC/十進制輸出（mbar/Torr/Pascal可切換）
? 可選第二路模擬輸出同步監(jiān)測全量程真空壓及相對大氣壓

數(shù)字接口
RS-232/485支持：

  • 實時壓力數(shù)據可視化
  • 遠程校準與參數(shù)配置

固態(tài)繼電器
3組UL/CSA認證觸點：

  • 無電弧/零EMI干擾
  • 開關速度比機電繼電器快10倍

兼容性設計

  • 引腳定義兼容傳統(tǒng)微皮拉尼變送器
  • 模擬信號/數(shù)字協(xié)議可仿真主流品牌

應用領域
PVD鍍膜：帶可維護擋板的鍍膜工藝
真空熱處理：工業(yè)級爐壓控制方案
空間模擬：極端環(huán)境壓力監(jiān)測
半導體：CVD/PVD工藝真空控制
等離子滅菌：過氧化氫滅菌設備集成方案

規(guī)格

測量范圍（單位：mbar）

5E-3 至 1333 mbar（3.75E-3 至 1000 Torr）

測量原理

5E-3 至 3.99 mbar
電容膜片真空計（CDG）

4 至 5.99 mbar
混合電容膜片真空計（CDG）/壓電膜片

6 至 1333 mbar
壓電膜片

精度

5E-3 至 9.99E-3 mbar
讀數(shù)的 5%

1E-2 至 799 mbar
讀數(shù)的 0.5%

800 至 1099 mbar
讀數(shù)的 0.25%

1100 至 1333 mbar
讀數(shù)的 0.5%

滯后性

1E-3 至 10 mbar（符合 ISO19685:2017）
1%

10 至 1333 mbar（符合 ISO19685:2017）
0.1%

模擬輸出分辨率

16 位（150 μV）

模擬輸出更新速率

124 Hz

響應時間（符合 ISO 19685:2017）

<20 ms

溫度補償

+10 至 +50 °C

固態(tài)繼電器設定點范圍

5E-6 至 1333 mbar（3.75E-6 至 1000 Torr）

固態(tài)繼電器觸點額定值

50 V，100 mArms / mADC

固態(tài)繼電器認證

  • UL 認證：文件號 E76270

  • CSA 認證：證書號 1175739

  • EN/IEC 60950-1 認證

環(huán)境條件

工作環(huán)境溫度
-20 至 +50 °C

介質溫度
-20 至 +50 °C

儲存環(huán)境溫度
-20 至 +80 °C

烘烤溫度（非工作狀態(tài)）
+80 °C

最大介質壓力(3)
4 bar 絕對壓力

安裝位置
任意(4)

防護等級（EN 60529/A2:2013）
IP40

濕度（IEC 68-2-38）
98%，非冷凝

電源

供電電壓
12-30 VDC

功耗
最大 350 mW

反向極性保護
支持

過電壓保護
支持

內置保險絲
100 mA（熱恢復型）

材料

外殼
SS 1.4307 / AISI 304L / 鋁 6061

真空工藝法蘭（接觸介質）
SS 1.4401 / AISI 316

真空接觸材料（接觸介質）標準版本
316 不銹鋼、Kovar、玻璃、硅、AI?O?、金、Viton?、低釋氣環(huán)氧樹脂、焊料、RO4305、玻璃態(tài)二氧化硅

真空接觸材料（接觸介質）Parylene 保護版本
316 不銹鋼、Viton?、Parylene

真空接觸材料（接觸介質）陶瓷保護版本
316 不銹鋼、Viton?、氧化鋁陶瓷（AI?O?）

工藝密封性

<1·10?? mbar·l/s

認證

CE 認證
EMC 指令 2014/30/EU

RoHS 合規(guī)
EU 指令 2015/863

SENS4,VDM-7,DiCAP™ ATM,膜片真空變送器,用于PVD鍍膜,真空熱處理
SENS4,VDM-7,DiCAP™ ATM,膜片真空變送器,用于PVD鍍膜,真空熱處理

 

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