SENS4,VPM-15 TriCAP™ 傳感器,多傳感器真空計

SENS4,VPM-15 TriCAP™ 傳感器,多傳感器真空計,VPM-15 TriCAP™ 傳感器為各類真空應用樹立了全新的一體化寬范圍測量標準。其獨特之處在于提供經濟高效、氣體無關的 5.0E-3 至 1333 mbar 測量范圍，并結合熱損失原理實現低至 1E-6 mbar 的測量。

VPM-15 TriCAP™ 傳感器
| 真空 |

超寬測量范圍
MEMS 皮拉尼與膜片傳感器組合，實現 1.0E-6 至 1333 mbar 的測量范圍

耐腐蝕性
可選陶瓷或聚對二甲苯傳感器保護

氣體無關測量
雙膜片傳感器，范圍 5E-3 至 1333 mbar

CDG 自動調零功能
CDG 自動調零功能無需手動調零

VPM-15 TriCAP™ 傳感器為各類真空應用樹立了全新的一體化寬范圍測量標準。其獨特之處在于提供經濟高效、氣體無關的 5.0E-3 至 1333 mbar 測量范圍，并結合熱損失原理實現低至 1E-6 mbar 的測量。

在氣體成分可能變化的真空應用中，傳統依賴氣體類型的皮拉尼計可能導致測量偏差。TriCAP™ 傳感器采用高精度電容式膜片規（CDG）傳感器，消除氣體依賴性，即使氣體性質變化也能提供精準測量。——重新定義真空測量

VPM-15 TriCAP™ 是一款創新的多傳感器真空計，是升級傳統皮拉尼計應用的理想選擇，也可作為分立式電容規與皮拉尼計的經濟型一體化替代方案。

VPM-15 測量范圍
CDG 自動調零
集成 MEMS 皮拉尼熱損失傳感器將測量范圍擴展至 1E-6 mbar，并為電容規提供創新的自動調零功能，省去傳統電容膜片規常見的手動調零步驟。無需手動按鍵調零——只需抽真空至自動調零點，CDG 即自動校準并準備就緒。

適用于嚴苛應用
針對可能接觸腐蝕性或活性氣體的應用，TriCAP™ 可選配防護涂層作為有效屏障。

TriCAP™ 系列提供陶瓷或聚對二甲苯保護層選項，防止傳感器材料腐蝕或氧化。陶瓷具有卓越耐腐蝕性，是電容膜片規真空傳感器膜片的可靠材料。聚對二甲苯是一種獨特聚合物，兼具優異耐腐蝕性與疏水性，專為醫療應用（如凍干和滅菌）設計。

某些真空工藝中的顆粒可能威脅真空計安全。為此，TriCAP™ 傳感器可選配防護擋板阻擋宏觀顆粒。結合防護涂層選項，TriCAP™ 專為挑戰性真空環境打造。

帶防護擋板的 VPM-15 傳感器
模擬輸出
提供多種模擬輸出縮放選項，可模擬其他廠商的真空計與傳感器。可選次級模擬輸出支持同步監測全范圍真空壓力與相對于大氣壓的壓力信號。

模擬輸出電壓為外部讀取或控制提供信號。VPM-15 標準配置為 1VDC/十倍頻程（mbar、Torr 或 Pascal）電壓輸出信號。

數字連接
RS-232 和 RS-485 串行接口可將壓力與溫度測量數據傳輸至外部設備。

數字接口支持診斷、預測性維護、服務、校準、設定點配置、模擬輸出縮放以及實時真空壓力測量數據獲取，用于屏幕可視化。

可靠設定點繼電器控制
三個獨立固態開關繼電器可用于控制外部設備，如泵、閥門和安全聯鎖電路。

與機電繼電器不同，固態繼電器可靠性更高、切換速度更快，且無電弧接觸，切換時無電磁干擾（EMI）。

TriCAP™ 繼電器經久耐用，通過 UL 認證、CSA 認可及 EN/IEC 60950-1 認證，確保在關鍵真空過程和高循環應用中控制可靠。

其他廠商兼容性
VPM-15 TriCAP™ 傳感器提供引腳兼容性、模擬電壓壓力信號模擬以及與其他廠商真空傳感器和變送器的數字協議模擬功能。

這些模擬特性可快速無縫升級傳統微型皮拉尼傳感器，無需更改線纜和系統設備軟件即可過渡至新一代真空傳感器。

替換傳統真空計和傳感器時，VPM-15 TriCAP™ 能在多數應用中提供增強的測量性能。

其他廠商模擬功能還兼容第三方控制器與顯示單元。

測量與控制先進真空工藝
VPM-15 TriCAP™ 專為頂尖真空氣體壓力測量與控制設計，多種輸出選項不僅提供壓力測量信號。

應用與市場
VPM-5 SmartPirani™ 專為可靠測量和控制先進真空工藝而設計，適用于工業與科學領域的廣泛應用。多樣化的 VPM-5 配置可滿足不同應用需求。

物理氣相沉積 (PVD)
硬質涂層
配備可維護擋板保護的 VPM-5 適用于物理氣相沉積 (PVD) 涂層應用，確保使用壽命。

真空熱處理應用
熔爐
真空熱處理過程中的真空度測量與控制。工業應用可選配擋板與防護涂層。

空間模擬
空間模擬
測試物體脫氣可能導致空間模擬過程中氣體成分變化。VPM-15 消除皮拉尼計的氣體依賴性。

太陽能薄膜
氫儲能罐與供應管線的絕緣真空測量與監控。

半導體
化學氣相沉積 (CVD)、物理氣相沉積 (PVD) 及半導體前級管線真空測量。可選耐腐蝕陶瓷傳感器。

質譜儀
利用 VPM-5 的低壓測量能力，適用于質譜儀設備。

規格

測量范圍（mbar）
1E-6 至 1333 mbar（7.5E-7 至 1000 Torr）

測量原理

  • 1E-6 至 1E-3 mbar：MEMS 皮拉尼熱傳導原理

  • 1E-3 至 5E-3 mbar：混合 MEMS 皮拉尼/電容膜片表（CDG）

  • 5E-3 至 3.99 mbar：電容膜片表（CDG）

  • 4 至 5.99 mbar：混合 CDG/壓電膜片

  • 6 至 1333 mbar：壓電膜片

精度

  • 1E-5 至 9.99E-5 mbar：讀數的 25%

  • 1E-4 至 9.99E-3 mbar：讀數的 5%

  • 1E-2 至 799 mbar：讀數的 0.5%

  • 800 至 1099 mbar：讀數的 0.25%

  • 1100 至 1333 mbar：讀數的 0.5%

滯后（根據 ISO19685:2017 標準）

  • 1E-3 至 10 mbar：1%

  • 10 至 1333 mbar：0.1%

模擬輸出分辨率
16 位（150 μV）

模擬輸出更新速率
124 Hz

響應時間（根據 ISO 19685:2017 標準）
<20 ms

溫度補償
+10 至 +50 °C

固態繼電器設定點范圍
5E-6 至 1333 mbar（3.75E-6 至 1000 Torr）

固態繼電器觸點額定值
50 V，100 mArms / mADC

固態繼電器認證

  • UL 認證：文件編號 E76270

  • CSA 認證：證書編號 1175739

  • EN/IEC 60950-1 認證

環境條件

工作環境溫度
-20 至 +50 °C

介質溫度
-20 至 +50 °C

存儲環境溫度
-20 至 +80 °C

烘烤溫度（非工作狀態）
+80 °C

最大介質壓力 (3)
4 bar 絕壓

安裝位置
任意 (4)

防護等級（根據 EN 60529/A2:2013 標準）
IP40

濕度（根據 IEC 68-2-38 標準）
98%，不凝結

電源

供電電壓
12-30 VDC

功耗
350 mW（最大值）

反極性保護
是

過電壓保護
是

內部熔斷器
100 mA（熱恢復型）

材料

外殼
SS 1.4307 / AISI 304L / 鋁 6061

真空工藝法蘭（接觸介質）
SS 1.4401 / AISI 316

真空接觸材料（接觸介質）——標準版本
316 不銹鋼，Kovar，玻璃，硅，鎳，鋁，SiO?，Si?N?，AI?O?，金，Viton?，低析氣環氧樹脂，焊料，RO4305，熔融石英

真空接觸材料（接觸介質）——Parylene 保護版本
316 不銹鋼，Viton?，Parylene

真空接觸材料（接觸介質）——陶瓷保護版本
316 不銹鋼，Viton?，氧化鋁陶瓷（AI?O?）

工藝泄漏密封性
<1·10?? mbar·l/s

認證

  • CE

  • EMC 指令 2014/30/EU

  • RoHS 符合性（指令 EU 2015/863）

SENS4,VPM-15 TriCAP™ 傳感器,多傳感器真空計
SENS4,VPM-15 TriCAP™ 傳感器,多傳感器真空計

http://ydzhly.com/sens4-vacuum-pressure/SENS4,VPM-15 TriCAP™ 傳感器,多傳感器真空計/

https://zhuanlan.zhihu.com/p/1888637202159878582


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