SENS4,VPM-17 TriCAP™ ATM 傳感器,多傳感器真空計(jì)

SENS4,VPM-17 TriCAP™ ATM 傳感器,多傳感器真空計(jì),VPM-17 TriCAP™ ATM傳感器為廣域真空應(yīng)用樹立了全新的一體化測量標(biāo)準(zhǔn)。相比傳統(tǒng)真空計(jì)，它不僅提供5.0E-3至1333 mbar經(jīng)濟(jì)高效的氣體無關(guān)測量范圍，還具備低至1E-6 mbar的皮拉尼熱損耗測量能力。

VPM-17 TriCAP™ ATM 傳感器
| 真空 |

超寬測量范圍
9個(gè)數(shù)量級覆蓋1.0E-6至1333 mbar，其中5E-3至1333 mbar為氣體無關(guān)測量

創(chuàng)新四傳感器組合
集成MEMS皮拉尼、電容膜片、壓電膜片及氣壓傳感器

CDG自動(dòng)調(diào)零功能
CDG自動(dòng)調(diào)零功能無需手動(dòng)校準(zhǔn)

大氣壓切換功能
相對大氣壓測量實(shí)現(xiàn)真空系統(tǒng)精準(zhǔn)排氣控制

VPM-17 TriCAP™ ATM傳感器為廣域真空應(yīng)用樹立了全新的一體化測量標(biāo)準(zhǔn)。相比傳統(tǒng)真空計(jì)，它不僅提供5.0E-3至1333 mbar經(jīng)濟(jì)高效的氣體無關(guān)測量范圍，還具備低至1E-6 mbar的皮拉尼熱損耗測量能力。

在氣體成分可能變化的真空應(yīng)用中，傳統(tǒng)氣體依賴型皮拉尼計(jì)會(huì)導(dǎo)致測量偏差。TriCAP™ ATM采用高精度電容式膜片規(guī)（CDG）傳感器，徹底消除氣體依賴性，即使氣體特性變化也能確保測量精準(zhǔn)。

除真空測量外，VPM-17支持相對大氣壓的壓力測量，可精確控制真空系統(tǒng)排氣流程?！匦露x真空測量
TriCAP™ ATM是真正創(chuàng)新的多傳感器真空計(jì)，既可用于升級傳統(tǒng)皮拉尼計(jì)應(yīng)用，也可作為分立式電容規(guī)與皮拉尼計(jì)的經(jīng)濟(jì)型一體化替代方案。

VPM-17測量范圍
CDG自動(dòng)調(diào)零
集成MEMS皮拉尼熱損耗傳感器將測量范圍擴(kuò)展至1E-6 mbar，并為電容規(guī)引入創(chuàng)新自動(dòng)調(diào)零功能，省去傳統(tǒng)電容膜片規(guī)繁瑣的手動(dòng)調(diào)零步驟。無需按鍵操作——抽真空至自動(dòng)調(diào)零點(diǎn)后，電容膜片規(guī)即自動(dòng)校準(zhǔn)并準(zhǔn)備就緒。

嚴(yán)苛應(yīng)用適配
針對可能接觸腐蝕性或活性氣體的環(huán)境，TriCAP™可選配防護(hù)涂層作為有效屏障。

該系列提供陶瓷或聚對二甲苯保護(hù)層選項(xiàng)，防止傳感器材料腐蝕氧化。陶瓷具有卓越耐腐蝕性，是電容膜片規(guī)真空傳感器膜片的可靠材質(zhì)。聚對二甲苯作為特種聚合物，兼具優(yōu)異耐腐蝕性與疏水性，特別適合凍干滅菌等醫(yī)療應(yīng)用。

某些真空工藝中的顆?？赡芡{儀表安全。為此TriCAP™可選配防護(hù)擋板阻擋宏觀顆粒，結(jié)合防護(hù)涂層選項(xiàng)，專為極端真空環(huán)境打造。

帶防護(hù)擋板的VPM-17傳感器
模擬輸出
提供多種模擬輸出縮放選項(xiàng)，可模擬其他廠商真空計(jì)及變送器信號(hào)。

可選次級模擬輸出支持同步監(jiān)測全量程真空壓力及相對大氣壓信號(hào)。

標(biāo)準(zhǔn)配置提供1VDC/十倍頻程（mbar/Torr/Pascal）電壓輸出信號(hào)，適用于外部讀取或控制。

數(shù)字連接
RS-232與RS-485串行接口可傳輸壓力溫度數(shù)據(jù)至外部設(shè)備。

數(shù)字接口支持診斷、預(yù)測性維護(hù)、校準(zhǔn)、設(shè)定點(diǎn)配置、模擬輸出縮放及實(shí)時(shí)真空壓力數(shù)據(jù)可視化。配套數(shù)據(jù)記錄軟件便于PC端交互。

可靠設(shè)定點(diǎn)繼電器控制
三個(gè)獨(dú)立固態(tài)開關(guān)繼電器可控制泵閥、安全聯(lián)鎖等外部設(shè)備。

相比機(jī)電繼電器，固態(tài)方案具備更高可靠性、更快切換速度，且無電弧接觸與電磁干擾（EMI）。

TriCAP™繼電器通過UL認(rèn)證、CSA認(rèn)可及EN/IEC 60950-1認(rèn)證，確保關(guān)鍵真空流程與高頻應(yīng)用的控制安全。

第三方兼容性
VPM-17 TriCAP™ ATM提供引腳兼容、模擬電壓信號(hào)模擬及數(shù)字協(xié)議模擬功能，可匹配其他廠商真空傳感器與變送器。

這些特性支持快速無縫升級傳統(tǒng)微型皮拉尼傳感器，無需更改線纜與系統(tǒng)軟件即可過渡至新一代產(chǎn)品。

替換傳統(tǒng)真空計(jì)時(shí)，VPM-17 TriCAP™ ATM能在多數(shù)場景提供增強(qiáng)性能，其模擬功能還兼容第三方控制器與顯示單元。

定制化設(shè)置
可根據(jù)具體應(yīng)用需求預(yù)配置測量范圍、壓力單位、設(shè)定點(diǎn)參數(shù)及輸出信號(hào)縮放等參數(shù)，實(shí)現(xiàn)開箱即用。定制產(chǎn)品配有專屬料號(hào)便于后續(xù)采購。

應(yīng)用領(lǐng)域
VPM-17 TriCAP™專為先進(jìn)真空工藝的測控設(shè)計(jì)，適用于工業(yè)與科研多領(lǐng)域：

氫能真空
儲(chǔ)氫罐及供應(yīng)管線的絕緣真空監(jiān)測

半導(dǎo)體
化學(xué)氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)及前級管線真空測量（可選耐腐蝕陶瓷傳感器）

質(zhì)譜儀
利用其低壓測量能力適配質(zhì)譜設(shè)備

PVD鍍膜
配備可維護(hù)擋板的VPM-17適用于物理氣相沉積鍍膜場景

真空熱處理
熱處理過程真空度測控（可選工業(yè)級擋板與涂層防護(hù)）

空間模擬
太空極端環(huán)境模擬中的真空氣體壓力測量

規(guī)格參數(shù)

測量范圍（mbar）

  • 1E-6 至 1333 mbar（7.5E-7 至 1000 Torr）

測量原理

  • 1E-6 至 1E-3 mbar：MEMS 皮拉尼（Pirani）熱導(dǎo)原理

  • 1E-3 至 5E-3 mbar：混合 MEMS 皮拉尼 / CDG

  • 5E-3 至 3.99 mbar：電容膜片規(guī)（CDG）

  • 4 至 5.99 mbar：混合 CDG / 壓電膜片

  • 6 至 1333 mbar：壓電膜片

精度

  • 1E-5 至 9.99E-5 mbar：讀數(shù)的 25%

  • 1E-4 至 9.99E-3 mbar：讀數(shù)的 5%

  • 1E-2 至 799 mbar：讀數(shù)的 0.5%

  • 800 至 1099 mbar：讀數(shù)的 0.25%

  • 1100 至 1333 mbar：讀數(shù)的 0.5%

氣壓測量范圍

  • 300 至 1200 mbar

氣壓測量精度

  • ± 0.5 mbar

相對于大氣壓力的輸出范圍

  • -1333 至 +1333 mbar

滯后（ISO19685:2017）

  • 1E-3 至 10 mbar：1%

  • 10 至 1333 mbar：0.1%

模擬輸出分辨率

  • 16 位（150 μV）

模擬輸出更新速率

  • 124 Hz

響應(yīng)時(shí)間（ISO19685:2017）

  • < 20 ms

溫度補(bǔ)償范圍

  • +10 至 +50 °C

固態(tài)繼電器設(shè)定范圍

  • 5E-6 至 1333 mbar（3.75E-6 至 1000 Torr）

固態(tài)繼電器觸點(diǎn)額定值

  • 50 V，100 mArms / mADC

固態(tài)繼電器認(rèn)證

  • UL 認(rèn)證：文件號(hào) E76270

  • CSA 認(rèn)證：證書號(hào) 1175739

  • EN/IEC 60950-1 認(rèn)證

環(huán)境條件

工作環(huán)境溫度

  • -20 至 +50 °C

介質(zhì)溫度

  • -20 至 +50 °C

儲(chǔ)存環(huán)境溫度

  • -20 至 +80 °C

烘烤溫度（非工作狀態(tài)）

  • +80 °C

最大介質(zhì)壓力(3)

  • 4 bar 絕對壓力

安裝位置

  • 任意方向 (4)

防護(hù)等級（EN 60529/A2:2013）

  • IP40

濕度（IEC 68-2-38）

  • 98%，無冷凝

電源

供電電壓

  • 12-30 VDC

功耗

  • 最大 350 mW

反接保護(hù)

  • 是

過壓保護(hù)

  • 是

內(nèi)部保險(xiǎn)絲

  • 100 mA（可自恢復(fù)熱保險(xiǎn)絲）

材料

外殼

  • 不銹鋼 1.4307 / AISI 304L / 鋁 6061

真空工藝法蘭（接觸介質(zhì)）

  • 不銹鋼 1.4401 / AISI 316

接觸介質(zhì)的真空暴露材料（標(biāo)準(zhǔn)版本）

  • 316 不銹鋼、Kovar、玻璃、硅、鎳、鋁、SiO?、Si?N?、Al?O?、金、Viton?、低析氣環(huán)氧樹脂、焊料、RO4305、玻璃態(tài)石英

接觸介質(zhì)的真空暴露材料（Parylene 保護(hù)版本）

  • 316 不銹鋼、Viton?、Parylene

接觸介質(zhì)的真空暴露材料（陶瓷保護(hù)版本）

  • 316 不銹鋼、Viton?、氧化鋁陶瓷（Al?O?）

工藝密封性

  • <1·10?? mbar·l/s

認(rèn)證

  • CE

  • 電磁兼容性（EMC）指令：2014/30/EU

  • RoHS 合規(guī)性：EU 2015/863 指令

SENS4,VPM-17 TriCAP™ ATM 傳感器,多傳感器真空計(jì)
SENS4,VPM-17 TriCAP™ ATM 傳感器,多傳感器真空計(jì)

 

http://ydzhly.com/sens4-vacuum-pressure/SENS4,VPM-17 TriCAP™ ATM 傳感器,多傳感器真空計(jì)/??

https://zhuanlan.zhihu.com/p/1888637202159878582


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