SENS4,VPM-4,真空變送器,真空開關(guān)功能優(yōu)化,全量程測量大氣壓及以上

SENS4,VPM-4,真空變送器,真空開關(guān)功能優(yōu)化,全量程測量大氣壓及以上,采用先進(jìn)MEMS傳感器與數(shù)字信號(hào)處理架構(gòu)，將熱導(dǎo)式真空規(guī)量程向下擴(kuò)展1-3個(gè)數(shù)量級(jí)。專為真空開關(guān)功能優(yōu)化，需全量程測量（至大氣壓及以上）時(shí)推薦VPM-5型號(hào)。

VPM-4 SmartPirani™ Lite 真空變送器
| 真空測量 |

核心特性
??超寬量程MEMS皮拉尼傳感器：1.0E-6~10 mbar
??耐腐蝕選配：陶瓷/派瑞林涂層防護(hù)
??數(shù)字接口：RS-232/485系統(tǒng)集成
??過程控制：可編程繼電器實(shí)現(xiàn)真空開關(guān)功能

技術(shù)突破
采用先進(jìn)MEMS傳感器與數(shù)字信號(hào)處理架構(gòu)，將熱導(dǎo)式真空規(guī)量程向下擴(kuò)展1-3個(gè)數(shù)量級(jí)。專為真空開關(guān)功能優(yōu)化，需全量程測量（至大氣壓及以上）時(shí)推薦VPM-5型號(hào)。

嚴(yán)苛工況適配

  • 防腐選項(xiàng)：
    ? 陶瓷防護(hù)層（電容規(guī)級(jí)耐腐蝕）
    ? 醫(yī)用級(jí)派瑞林涂層（耐過氧化氫等離子滅菌）
  • 防顆粒選配：可拆卸擋板防護(hù)

測控功能
模擬輸出
1 VDC/十進(jìn)制的標(biāo)準(zhǔn)輸出（支持mbar/Torr/Pascal），兼容主流品牌儀表替換

數(shù)字接口
RS-232/485抗干擾傳輸，支持：

  • 實(shí)時(shí)壓力可視化
  • 遠(yuǎn)程診斷/校準(zhǔn)
  • 設(shè)定點(diǎn)配置

固態(tài)繼電器
3組UL/CSA認(rèn)證觸點(diǎn)：

  • 無電弧/零EMI
  • 開關(guān)速度比機(jī)電繼電器快10倍

兼容性設(shè)計(jì)

  • 引腳定義兼容傳統(tǒng)皮拉尼規(guī)
  • 模擬輸出曲線/數(shù)字協(xié)議可仿真他廠產(chǎn)品
  • S4-Connect技術(shù)通過電源線實(shí)現(xiàn)數(shù)字通信

應(yīng)用領(lǐng)域
PVD鍍膜：帶可維護(hù)擋板的鍍膜工藝
前級(jí)管路監(jiān)測：可編程繼電器控制外圍設(shè)備
空間模擬：極端真空環(huán)境測量
氫能系統(tǒng)：儲(chǔ)氫罐絕緣真空監(jiān)測
半導(dǎo)體：CVD/PVD工藝真空控制
質(zhì)譜儀：低氣壓測量支持

規(guī)格

測量范圍（mbar）
1×10?? 至 10 mbar（7.5×10?? 至 7.5 Torr）

測量原理
1×10?? 至 10 mbar
MEMS 皮拉尼熱導(dǎo)法

精度
1×10?? 至 9.99×10?? mbar
讀數(shù)的 25%

1×10?? 至 9.99×10?1 mbar
讀數(shù)的 5%

1.00 至 10 mbar
讀數(shù)的 30%

滯后（根據(jù) ISO19685:2017）
1×10?3 至 10 mbar
1%

模擬輸出分辨率
16 位（150 μV）

模擬輸出更新率
124 Hz

響應(yīng)時(shí)間（根據(jù) ISO 19685:2017）
<20 ms

溫度補(bǔ)償
+10 至 +50 °C

固態(tài)繼電器設(shè)定范圍
5×10?? 至 1333 mbar（3.75×10?? 至 1000 Torr）

固態(tài)繼電器觸點(diǎn)額定值
50 V，100 mArms / mADC

固態(tài)繼電器認(rèn)證
UL 認(rèn)證：文件號(hào) E76270
CSA 認(rèn)證：證書號(hào) 1175739
EN/IEC 60950-1 認(rèn)證

環(huán)境條件

工作環(huán)境溫度
-20 至 +50 °C

介質(zhì)溫度
-20 至 +50 °C

儲(chǔ)存環(huán)境溫度
-40 至 +120 °C

烘烤溫度（非工作狀態(tài)）
+120 °C

最大介質(zhì)壓力(3)
10 bar 絕對(duì)壓力

安裝位置
任意

防護(hù)等級(jí)（根據(jù) EN 60529/A2:2013）
IP40

濕度（根據(jù) IEC 68-2-38）
98%，不凝結(jié)

電源

電源電壓
12-30 VDC

功耗
最大 240 mW

反接保護(hù)
是

過壓保護(hù)
是

內(nèi)部保險(xiǎn)絲
100 mA（可恢復(fù)熱保險(xiǎn)絲）

材料

外殼
SS 1.4307 / AISI 304L / 鋁 6061

真空工藝法蘭（接觸介質(zhì)）
SS 1.4401 / AISI 316

接觸真空材料（接觸介質(zhì)）標(biāo)準(zhǔn)版本
316 不銹鋼、Kovar、玻璃、硅、鎳、鋁、SiO?、Si?N?、金、Viton?、低析氣環(huán)氧樹脂

接觸真空材料（接觸介質(zhì)）Parylene 保護(hù)版本
316 不銹鋼、Viton?、Parylene

接觸真空材料（接觸介質(zhì)）陶瓷保護(hù)版本
316 不銹鋼、Viton?、氧化鋁陶瓷（Al?O?）

工藝泄漏密封性
<1×10?? mbar·l/s

可靠性

MTBF（平均無故障時(shí)間）
13,092,170 小時(shí)

失效率 FIT（每 10? 小時(shí)內(nèi)的失效次數(shù)）
76.38

認(rèn)證

CE
電磁兼容指令 2014/30/EU

RoHS 符合性
指令 EU 2015/863

(1) 精度規(guī)格為在零點(diǎn)調(diào)整后、穩(wěn)定溫度下的典型值。
(2) Viton? 是 THE CHEMOURS COMPANY FC, LLC 的商標(biāo)。
(3) 超壓限制僅在使用符合規(guī)格的接頭時(shí)適用。

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