SENS4,VPM-5,SmartPirani™,真空變送器,超寬量程耐腐蝕真空計(jì)

SENS4,VPM-5,SmartPirani™,真空變送器,超寬量程耐腐蝕真空計(jì),基于MEMS傳感器與數(shù)字信號(hào)處理創(chuàng)新架構(gòu)，將熱導(dǎo)式真空規(guī)量程擴(kuò)展1-3個(gè)數(shù)量級(jí)，消除傳統(tǒng)皮拉尼規(guī)氣體依賴性，精度媲美電容規(guī)。

VPM-5 SmartPirani™ 真空變送器
| 真空測(cè)量 |

核心特性
??超寬量程：1.0E-6~1333 mbar（覆蓋9個(gè)數(shù)量級(jí)）
??耐腐蝕選配：陶瓷/派瑞林涂層防護(hù)
??氣體無(wú)關(guān)測(cè)量：2~1333 mbar采用精密膜片傳感器
??卓越性價(jià)比：多場(chǎng)景真空應(yīng)用標(biāo)桿性能

技術(shù)突破
基于MEMS傳感器與數(shù)字信號(hào)處理創(chuàng)新架構(gòu)，將熱導(dǎo)式真空規(guī)量程擴(kuò)展1-3個(gè)數(shù)量級(jí)，消除傳統(tǒng)皮拉尼規(guī)氣體依賴性，精度媲美電容規(guī)。

嚴(yán)苛工況適配

  • 防腐選項(xiàng)：
    ? 陶瓷防護(hù)（電容規(guī)級(jí)耐腐蝕）
    ? 醫(yī)用級(jí)派瑞林涂層（耐滅菌工藝）
  • 防顆粒設(shè)計(jì)：可拆卸擋板防護(hù)

熱銷(xiāo)型號(hào)
VPM-5-10101211
? DN16KF法蘭 | RS-232接口 | mbar單位 | 1組繼電器 | 9針D-sub

VPM-5-10201211
? DN16KF法蘭 | RS-485接口 | mbar單位 | 1組繼電器 | 9針D-sub

測(cè)控功能
模擬輸出
1 VDC/十進(jìn)制的標(biāo)準(zhǔn)輸出（支持mbar/Torr/Pascal），兼容主流品牌替換

數(shù)字接口
RS-232/485支持：

  • 實(shí)時(shí)壓力可視化
  • 遠(yuǎn)程診斷/校準(zhǔn)
  • 設(shè)定點(diǎn)配置

固態(tài)繼電器
3組UL/CSA認(rèn)證觸點(diǎn)：

  • 無(wú)電弧/零EMI
  • 開(kāi)關(guān)速度提升10倍

兼容性設(shè)計(jì)

  • 引腳/信號(hào)/協(xié)議全兼容傳統(tǒng)皮拉尼規(guī)
  • S4-Connect技術(shù)通過(guò)電源線實(shí)現(xiàn)數(shù)字通信

應(yīng)用領(lǐng)域
PVD鍍膜：帶可維護(hù)擋板的鍍膜方案
真空熱處理：工業(yè)級(jí)爐壓控制
空間模擬：極端環(huán)境壓力監(jiān)測(cè)
氫能系統(tǒng)：儲(chǔ)氫罐真空絕緣監(jiān)測(cè)
半導(dǎo)體：CVD/PVD工藝控制
質(zhì)譜儀：低氣壓測(cè)量支持

規(guī)格

測(cè)量范圍（mbar）

  • 1×10?? 至 1333 mbar（7.5×10?? 至 1000 Torr）

測(cè)量原理

  • 1×10?? 至 1.5 mbar：MEMS 皮拉尼（Pirani）熱導(dǎo)率

  • 1.5 至 2 mbar：混合 MEMS 皮拉尼/壓阻式讀數(shù)

  • 2 至 1333 mbar：MEMS 壓阻式隔膜

精度

  • 1×10?? 至 9.99×10?? mbar：讀數(shù)的 25%

  • 1×10?? 至 7.99 mbar：讀數(shù)的 5%

  • 8.00 至 99.9 mbar：讀數(shù)的 1%

  • 100 至 800 mbar：讀數(shù)的 0.5%

  • 800 至 1099 mbar：讀數(shù)的 0.25%

  • 1100 至 1333 mbar：讀數(shù)的 0.5%

滯后性

  • 1×10?3 至 10 mbar（符合 ISO 19685:2017）：1%

  • 10 至 1333 mbar（符合 ISO 19685:2017）：0.1%

模擬輸出

  • **分辨率：**16 位（150 μV）

  • **更新速率：**124 Hz

響應(yīng)時(shí)間（符合 ISO 19685:2017）

  • <20 毫秒

溫度補(bǔ)償

  • +10 至 +50 °C

固態(tài)繼電器設(shè)定范圍

  • 5×10?? 至 1333 mbar（3.75×10?? 至 1000 Torr）

固態(tài)繼電器觸點(diǎn)額定值

  • 50 V，100 mArms / mADC

固態(tài)繼電器認(rèn)證

  • UL 認(rèn)證：文件號(hào) E76270

  • CSA 認(rèn)證：證書(shū)號(hào) 1175739

  • EN/IEC 60950-1 認(rèn)證

環(huán)境條件

  • 工作環(huán)境溫度：-20 至 +50 °C

  • 介質(zhì)溫度：-20 至 +50 °C

  • 存儲(chǔ)環(huán)境溫度：-40 至 +120 °C

  • 烘烤溫度（非工作狀態(tài)）：+120 °C

  • **最大介質(zhì)壓力(3)：**10 bar 絕壓

  • **安裝位置：**任意

  • **防護(hù)等級(jí)（符合 EN 60529/A2:2013）：**IP40

  • **濕度（符合 IEC 68-2-38）：**98%，非冷凝

電源

  • **供電電壓：**12-30 VDC

  • **功耗：**最大 240 mW

  • **反接保護(hù)：**是

  • **過(guò)壓保護(hù)：**是

  • **內(nèi)部保險(xiǎn)絲：**100 mA（熱恢復(fù)型）

材料

  • **外殼：**SS 1.4307 / AISI 304L / 鋁 6061

  • **真空工藝法蘭（接觸介質(zhì)）：**SS 1.4401 / AISI 316

接觸介質(zhì)的真空暴露材料（標(biāo)準(zhǔn)版本）

  • 316 不銹鋼、Kovar、玻璃、硅、鎳、鋁、SiO?、Si?N?、金、Viton?、低析氣環(huán)氧樹(shù)脂、焊料、RO4305

接觸介質(zhì)的真空暴露材料（Parylene 保護(hù)版本）

  • 316 不銹鋼、Viton?、Parylene

接觸介質(zhì)的真空暴露材料（陶瓷保護(hù)版本）

  • 316 不銹鋼、Viton?、氧化鋁陶瓷 (Al?O?)

工藝泄漏密封性

  • <1×10?? mbar·l/s

可靠性

  • **MTBF（平均無(wú)故障時(shí)間）：**13,092,170 小時(shí)

  • **故障率（FIT，時(shí)間=10E+9 小時(shí)）：**76.38

認(rèn)證

  • **CE：**符合 EMC 指令 2014/30/EU

  • **RoHS 合規(guī)性：**符合 EU 指令 2015/863

SENS4,VPM-5,SmartPirani™,真空變送器,超寬量程耐腐蝕真空計(jì)
SENS4,VPM-5,SmartPirani™,真空變送器,超寬量程耐腐蝕真空計(jì)

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