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VPM-7 SmartPirani™ ATM 變送器
| 真空測量 |

超寬量程
1.0E-6至1333 mbar（覆蓋9個數(shù)量級）

大氣壓切換功能
真空系統(tǒng)排氣的精確壓力控制

氣體無關(guān)測量
膜片傳感器檢測范圍：2至1333 mbar

負載鎖設(shè)計
集成化一體式負載鎖壓力控制解決方案

VPM-7 SmartPirani™ ATM變送器專為半導體負載鎖精密壓力控制及其他需要精確測量相對于大氣環(huán)境壓力的真空應用而設(shè)計。

相比傳統(tǒng)負載鎖變送器及其他解決方案，本產(chǎn)品具備更寬量程、更高精度及更快測量周期的頂尖性能。

SmartPirani™ ATM通過將熱導式皮拉尼真空計可用量程擴展1-3個數(shù)量級，樹立了行業(yè)新標準。

熱銷VPM-7配置?
暢銷款
DN16KF法蘭 | VCR4F接口 | 即插式安裝

型號：VPM-7-10101232
? DN16KF法蘭
? 標準傳感器
? RS-232接口
? 標準模擬輸出
? 單位：mbar
? 3組設(shè)定點繼電器
? 15針HD D-sub接口

型號：VPM-7-10201232
? DN16KF法蘭
? 標準傳感器
? RS-485接口
? 標準模擬輸出
? 單位：mbar
? 3組設(shè)定點繼電器
? 15針HD D-sub接口

型號：VPM-7-10102132
? DN16KF法蘭
? 標準傳感器
? RS-232接口
? 標準模擬輸出
? 單位：torr
? 3組設(shè)定點繼電器
? 15針HD D-sub接口

型號：VPM-7-10202132
? DN16KF法蘭
? 標準傳感器
? RS-485接口
? 標準模擬輸出
? 單位：torr
? 3組設(shè)定點繼電器
? 15針HD D-sub接口

一體化多傳感器變送器解決方案
VPM-7是真正的多傳感器變送器，集成四種壓力輸出：環(huán)境氣壓傳感器、寬量程皮拉尼熱損耗傳感器、絕對膜片傳感器和相對于大氣壓的信號輸出，協(xié)同優(yōu)化現(xiàn)代負載鎖真空腔室的精準壓力控制。膜片傳感器提供2至1333 mbar（1.5至1000 Torr）的氣體無關(guān)高精度絕對讀數(shù)。

VPM-7應用范圍
負載鎖是用于將半導體晶圓等器件從常壓環(huán)境傳輸至真空工藝腔室的過渡腔體，需在常壓與目標真空度之間循環(huán)切換。精準的壓力控制對防止環(huán)境空氣污染和顆粒侵入至關(guān)重要，可同時保護工藝腔和晶圓安全。

負載鎖工藝測控
VPM-7 SmartPirani™ ATM專為頂尖的真空氣壓測控而設(shè)計，其多重輸出功能遠超普通壓力信號測量。

典型負載鎖壓力循環(huán)
可靠設(shè)定點繼電器控制
三個獨立固態(tài)開關(guān)繼電器支持外接負載鎖壓力循環(huán)控制，包括泵閥、安全聯(lián)鎖電路、PLC等設(shè)備。相比機電繼電器，固態(tài)繼電器具備更高可靠性、更快切換速度、無電弧觸點且不產(chǎn)生電磁干擾（EMI），通過UL認證、CSA認可及EN/IEC 60950-1標準，確保關(guān)鍵真空工藝和高頻應用的穩(wěn)定運行。

模擬輸出
提供1 VDC/十進制的標準電壓輸出（支持mbar/Torr/Pascal單位），可自定義輸出規(guī)格以實現(xiàn)與其他品牌儀表的無縫替換。

數(shù)字接口
RS-232/485串口支持壓力/溫度數(shù)據(jù)傳輸，用于診斷、預測性維護、校準、設(shè)定點配置及實時真空壓力可視化監(jiān)測。

耐腐蝕傳感器
標準配置適用于潔凈環(huán)境，可選配陶瓷膜片（耐腐蝕）或派瑞林涂層（疏水抗蝕）傳感器應對蝕刻氣體等嚴苛工況。

兼容第三方設(shè)備
提供引腳兼容、模擬信號/數(shù)字協(xié)議仿真的即插式升級方案，可無縫替換傳統(tǒng)皮拉尼變送器、對流規(guī)等老舊設(shè)備，無需更改線纜和系統(tǒng)軟件即可提升測量性能并降低成本。

定制化設(shè)置
支持測量范圍、壓力單位、設(shè)定點等預配置，定制機型配有專屬料號便于復購。

應用領(lǐng)域
真空熱處理爐：真空退火過程測控，可選擋板防護
空間環(huán)境模擬：極端真空環(huán)境壓力監(jiān)測
質(zhì)譜儀：低氣壓測量支持
半導體：負載鎖精準控壓，兼容舊型號替換
電子顯微鏡：真空/環(huán)境壓差同步監(jiān)測
PVD鍍膜：配備可維護擋板的長效鍍膜應用方案

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