SENS4,VPM-7-10102132,真空變送器,真空計,MEMS皮拉尼/壓電/大氣壓三傳感器,1E-6~1333 mbar(9個量級),2-1333 mbar全量程氣源無關,標準型
PM-7 技術規格
型號:VPM-7-10102132
基礎參數
- 產品編號:VPM-7-10102132
核心配置
項目 | 規格 |
---|---|
法蘭標準 | DN16KF |
通信接口 | RS-232 |
模擬輸出 | MKS900標準信號 |
壓力單位 | torr(可切換mbar) |
控制繼電器 | 3組獨立觸點 |
電氣連接 | 15針高密度D-Sub |
傳感器系統
- 技術組合:MEMS皮拉尼/壓電/大氣壓三傳感器
- 量程覆蓋:1E-6~1333 mbar(9個量級)
- 氣體普適性:2-1333 mbar全量程氣源無關
- 防護等級:標準型
功能特性
- 負載鎖腔室專用大氣壓切換功能
- 數字(RS-232)/模擬(MKS900)/繼電器三路輸出
- 半導體級超寬量程測量

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