超寬量程
采用MEMS皮拉尼與隔膜傳感器組合技術(shù)，實(shí)現(xiàn)1.0E-6至1333毫巴的寬泛量程
卓越耐腐蝕性
可選配陶瓷或派瑞林傳感器保護(hù)涂層
氣體類型無(wú)關(guān)測(cè)量
雙隔膜傳感器實(shí)現(xiàn)5E-3至1333毫巴精確測(cè)量
CDG自動(dòng)零點(diǎn)校準(zhǔn)
CDG AutoZero功能徹底免除手動(dòng)調(diào)零操作
VPM-15 TriCAP™ 傳感器以一體化寬量程測(cè)量方案為各類真空應(yīng)用樹(shù)立新標(biāo)桿。相較于傳統(tǒng)真空計(jì)，其優(yōu)勢(shì)在于：
- 經(jīng)濟(jì)高效，提供?5.0E-3 至 1333 毫巴?的氣體類型無(wú)關(guān)測(cè)量
- 結(jié)合熱損耗原理，可擴(kuò)展至?1E-6 毫巴?的超高真空測(cè)量
在氣體成分可能變化的真空應(yīng)用中，傳統(tǒng)依賴氣體類型的皮拉尼計(jì)可能導(dǎo)致實(shí)際壓力測(cè)量偏差。TriCAP™ 傳感器采用高精度電容式隔膜規(guī)（CDG），徹底消除氣體依賴性，即使氣體屬性變化也能確保精準(zhǔn)測(cè)量。
VPM-15 TriCAP™?是一款創(chuàng)新的多傳感器真空計(jì)，既能提升傳統(tǒng)皮拉尼計(jì)的性能，也可作為經(jīng)濟(jì)高效的一體化解決方案，替代分立的電容式壓力計(jì)和皮拉尼計(jì)組合。
VPM-15測(cè)量范圍
CDG 自動(dòng)零點(diǎn)校準(zhǔn)
集成?MEMS 皮拉尼熱損耗傳感器，將量程擴(kuò)展至?1E-6 毫巴，并為電容式壓力計(jì)提供創(chuàng)新的自動(dòng)零點(diǎn)校準(zhǔn)功能，徹底避免傳統(tǒng)電容隔膜規(guī)需手動(dòng)調(diào)零的麻煩。無(wú)需按鍵操作——只需抽真空至自動(dòng)調(diào)零點(diǎn)，CDG 即可自動(dòng)完成校準(zhǔn)并立即投入使用。
應(yīng)對(duì)嚴(yán)苛應(yīng)用的挑戰(zhàn)
在可能接觸腐蝕性或活性氣體的應(yīng)用中，TriCAP™ 提供防護(hù)涂層選項(xiàng)，有效隔離氣體侵蝕。
TriCAP™ 傳感器系列可選配陶瓷或派瑞林（Parylene）保護(hù)層，防止傳感器材料腐蝕或氧化：
- 陶瓷具有極強(qiáng)的耐腐蝕性，是電容隔膜規(guī)真空傳感器膜片的可靠材料。
- 派瑞林是一種獨(dú)特的高分子材料，兼具卓越的耐腐蝕性與疏水性，適用于醫(yī)療應(yīng)用（如凍干和滅菌）。
某些真空工藝中，顆粒物可能對(duì)真空計(jì)造成損害。針對(duì)此類需求，TriCAP™ 可加裝防護(hù)擋板，阻隔宏觀顆粒。結(jié)合防護(hù)涂層選項(xiàng)，TriCAP™ 傳感器專為極端真空環(huán)境打造。
模擬輸出
提供多種模擬輸出量程選項(xiàng)，可兼容其他廠商的真空計(jì)和傳感器。此外，可選配第二路模擬輸出，用于同時(shí)監(jiān)測(cè)全量程真空壓力及相對(duì)于大氣壓的壓力信號(hào)。
模擬輸出電壓可為外部讀取或控制提供信號(hào)。VPM-15 標(biāo)準(zhǔn)配置為?1V DC/十倍程?輸出（單位可選毫巴、托或帕斯卡），滿足多樣化測(cè)量需求。
數(shù)字連接
RS-232?和?RS-485?串行接口可將壓力與溫度測(cè)量數(shù)據(jù)傳輸至外部設(shè)備。
該數(shù)字接口支持以下功能：
- 設(shè)備診斷與預(yù)測(cè)性維護(hù)
- 遠(yuǎn)程校準(zhǔn)及設(shè)定點(diǎn)配置
- 模擬輸出量程調(diào)節(jié)
- 實(shí)時(shí)真空壓力數(shù)據(jù)采集（用于屏幕可視化顯示）
可靠設(shè)定點(diǎn)繼電器控制
配備三個(gè)獨(dú)立固態(tài)開(kāi)關(guān)繼電器，可精準(zhǔn)控制外部設(shè)備（如真空泵、閥門(mén)及安全聯(lián)鎖電路）。
核心優(yōu)勢(shì)：
- 相比傳統(tǒng)機(jī)電繼電器，具備更高可靠性與更快切換速度
- 無(wú)電弧觸點(diǎn)設(shè)計(jì)，切換過(guò)程零電磁干擾（EMI）
認(rèn)證保障：
TriCAP™繼電器通過(guò)：
- UL認(rèn)證
- CSA認(rèn)可
- EN/IEC 60950-1標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證
專為高耐久性設(shè)計(jì)，確保關(guān)鍵真空工藝及高頻次應(yīng)用的控制安全。
VPM-5 SmartPirani™?專為先進(jìn)真空工藝的可靠測(cè)量與控制而設(shè)計(jì)，適用于工業(yè)與科研領(lǐng)域的多種應(yīng)用場(chǎng)景。我們提供豐富的?VPM-5 配置選項(xiàng)，以滿足不同應(yīng)用的多樣化需求。
典型應(yīng)用包括：
- 工業(yè)領(lǐng)域：半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、真空爐工藝控制
- 科研領(lǐng)域：實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)、分析儀器配套
- 特殊環(huán)境：腐蝕性氣體監(jiān)測(cè)、高精度壓力控制